基于ARM920T的薄膜厚度在线测量系统设计.docx

基于ARM920T的薄膜厚度在线测量系统设计
基于ARM920T的薄膜厚度在线测量系统设计
摘要：本文主要介绍了一种基于ARM920T的薄膜厚度在线测量系统的设计。该系统采用了ARM920T作为主控制单元，通过薄膜传感器实时测量薄膜厚度，并将测量结果通过显示屏显示出来。同时，系统还具有数据存储和分析功能，方便用户进行数据分析和处理。实验结果表明，该系统具有较高的测量精度和稳定性，可以广泛应用于薄膜厚度测量领域。
关键词：ARM920T；薄膜厚度；在线测量；系统设计
引言
薄膜厚度的测量在微电子、光电子和表面工程等领域具有重要意义。目前，已有许多薄膜厚度测量方法和仪器，但大多数仪器体积庞大、价格昂贵、操作复杂，不适合现场使用。因此，设计一种小型、便携、价格相对较低且操作简便的在线薄膜厚度测量系统成为研究热点。
设计思路
本文设计的基于ARM920T的薄膜厚度在线测量系统主要包括以下几个模块：数据采集模块、数据处理模块、数据显示模块和数据存储模块。其中，数据采集模块用于实时采集薄膜传感器的测量数据；数据处理模块用于对采集到的数据进行处理和计算得到薄膜厚度；数据显示模块将测量结果通过显示屏进行实时显示；数据存储模块用于存储测量数据以供后续分析和处理。
系统硬件设计
系统的核心是ARM920T处理器，它具有较强的计算和控制能力，并且具有低功耗、体积小、价格相对较低等优点，非常适合用于本系统。数据采集模块采用了AD转换器和薄膜传感器，通过AD转换器将薄膜传感器输出的模拟信号转换为数字信号。数据处理模块采用了FPGA芯片，用于对采集到的数据进行处理和计算。数据显示模块采用了液晶显示屏，可以实时显示薄膜厚度结果。数据存储模块主要通过存储器芯片实现，用于存储用户测量的数据。
系统软件设计
系统的软件设计主要包括嵌入式操作系统的移植和应用程序的编写。本文选择了Linux操作系统作为嵌入式操作系统，并将其移植到ARM920T处理器上。移植成功后，根据系统的需求，编写了相应的应用程序。应用程序主要包括数据采集和处理算法的实现、数据显示的驱动程序编写、数据存储和分析程序的编写等。
系统测试与评估
为了验证系统的性能和可靠性，本文进行了一系列的实验测试。实验结果表明，系统具有较高的测量精度和稳定性，可以满足实际应用的需求。
结论
本文设计的基于ARM920T的薄膜厚度在线测量系统具有较高的测量精度和稳定性，能够满足实际应用的需求。该系统体积小、价格低廉、操作简便，适合在现场进行薄膜厚度测量。未来，还可以进一步优化系统性能，提高测量精度，拓展系统的应用范围。
参考文献：
[1]陈鹏，赵鹏.基于ARM的薄膜厚度自动测量系统设计[J].微电子学与计算机，2020，(3)：178-180.
[2]杨峰等.基于ARM的薄膜厚度在线测量系统设计[J].计算机工程与应用，2019，55(8)：215-217.
[3]王磊，李明.基于ARM的薄膜厚度测量系统设计[J].光通信技术，2018，42(7)：250-252.