溅射薄膜压敏芯体长期稳定性研究.docx

溅射薄膜压敏芯体长期稳定性研究
引言
随着电子技术的快速发展，压力传感器作为一种重要的传感器在工业、医疗、环保等领域发挥着重要的作用。溅射薄膜压敏芯体作为其中的一种重要压力传感器元件，具有灵敏度高、响应快、稳定性好等优点，在实际应用中备受青睐。然而，随着时间的推移和环境的变化，压敏芯体的性能会逐渐降低，长期稳定性的问题成为影响其应用的关键因素之一。因此，开展溅射薄膜压敏芯体的长期稳定性研究具有重要意义。
1.压敏芯体的制备及测试
1.1制备
溅射薄膜压敏芯体的制备主要包括准备基片、蒸发金属电极、溅射薄膜敏感层、制备薄膜电极、切割芯体等步骤。在制备过程中，要注意保持干燥的环境和洁净的条件，避免杂质的影响。
1.2测试
测试主要包括电学性能测试和力学性能测试。电学性能测试包括压力-电阻特性、灵敏度和热稳定性等指标；力学性能测试包括力敏度、弹性模量和断裂强度等指标。在测试过程中，需要选择合适的测试仪器和精密的测试方法，使得测试结果更加准确和可靠。
2.长期稳定性的影响因素
2.1湿度
湿度是影响长期稳定性的重要因素之一。当芯体在高湿度环境中运行时，从环境中吸收的水分会导致芯体的电阻值发生变化，进而对其灵敏度和响应能力产生影响。
2.2温度
温度是影响长期稳定性的重要因素之一。当芯体在高温环境中运行时，敏感材料的结构和性能会发生变化，进而对其电学和力学性能形成影响。
2.3细节尺寸
细节尺寸是影响长期稳定性的重要因素之一。在压敏芯体的制备过程中，其敏感层和电极的尺寸对其性能稳定性也产生重要影响。
3.长期稳定性措施
3.1封装
适当的封装措施可以有效地提高芯体的抗潮湿性和抗温度变化性能。例如选用封装材料的抗湿能力强、耐高温的性质，以及采用封装方法进行有效的密封等。
3.2降低湿度
在芯体存储和使用的环境中，降低湿度也是对其长期稳定性重要措施之一。可以采用除湿措施，如使用干燥剂、加装除湿设备等。
3.3降低温度
降低温度也是相对有效的稳定性措施之一，可以采用降温措施，如使用散热装置、调节芯体使用环境等。
结论
长期稳定性对压敏芯体的实际应用具有重要意义。在制备过程中，需要注意选择合适的制备工艺、保持无菌、洁净的制备环境等。在使用过程中，需降低湿度、温度，采取适当封装方法等措施，以保证芯体的长期稳定性和良好性能，增强其实际应用的适用性。