固晶机.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105448780A(43)申请公布日2016.03.30(21)申请号201510884941.0(22)申请日2015.12.04(71)申请人大族激光科技产业集团股份有限公司地址518000广东省深圳市南山区高新技术园北区新西路9号大族激光大厦申请人深圳市大族光电设备有限公司(72)发明人李健乔家平罗诚罗波高云峰(74)专利代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司44224代理人何平(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称固晶机(57)摘要本发明涉及一种固晶机，包括：机台；基板安装机构，用于装载基板，所述基板安装机构设置于所述机台上；丝印机构，用于在所述基板上通过丝网印刷的方式印刷锡膏；半导体器件传送机构，用于装载半导体器件，设置于机台上，并位于基板安装机构的一侧；器件抓取机构，用于抓取所述半导体器件并将其放置于所述基板上，以使所述半导体器件通过所述锡膏与所述基板相固定。上述固晶机，通过在基板上丝印锡膏，通过锡膏来实现半导体器件与基板之间电极的金属键合，解决传统的固晶机胶量不好控制的问题，提高了产品的良率。并且，上述固晶机可自动识别基板及半导体器件，以精确地印刷锡膏，并精确抓取并固放半导体器件，进一步提高了产品的质量。CN105448780ACN105448780A权利要求书1/2页1.一种固晶机，其特征在于，包括：机台；基板安装机构，用于装载基板，所述基板安装机构设置于所述机台上；丝印机构，用于在所述基板上通过丝网印刷的方式印刷锡膏；半导体器件传送机构，用于装载半导体器件，所述半导体器件传送机构设置于机台上，并位于基板安装机构的一侧；及器件抓取机构，用于抓取所述半导体器件并将其放置于所述基板上，以使所述半导体器件通过所述锡膏与所述基板相固定。2.根据权利要求1所述的固晶机，其特征在于，所述基板安装机构包括：基板运动导轨，设置于所述机台上；夹具，用于装载基板，所述夹具可滑动地设置于所述基板运动导轨上；及驱动电机，与所述夹具相联动，所述驱动电机可驱动所述夹具在所述基板运动导轨上运动。3.根据权利要求2所述的固晶机，其特征在于，所述丝印机构包括：第一支架，设置于所述机台上；钢网固定架，设置于第一支架中部；钢网，固定于所述钢网固定架上，并位于所述基板运动导轨上方；水平运动装置，设置于所述第一支架的顶部；及刮刀装置，设置于所述水平运动装置上，所述水平运动装置可带动所述刮刀装置在所述钢网上水平移动。4.根据权利要求3所述的固晶机，其特征在于，所述丝印机构还包括竖直电机，所述竖直电机设置于所述第一支架上，并与所述钢网固定架相联动，所述竖直电机可带动所述钢网固定架运动，以使所述钢网固定架靠近或远离所述基板运动导轨。5.根据权利要求3所述的固晶机，其特征在于，所述刮刀装置包括竖直气缸及刮刀，所述竖直气缸设置于所述水平运动装置上，并与所述刮刀相联动，所述竖直气缸可驱动所述刮刀靠近或远离所述钢网。6.根据权利要求3所述的固晶机，其特征在于，所述水平运动装置包括：水平导轨，设置于所述第一支架的顶部，所述刮刀装置可滑动地设置于所述水平导轨上；传动电机，设置于所述水平导轨的一端传动轮，与所述传动电机相连，所述传动电机可驱动所述传动轮转动；及传动带，与所述刮刀装置相连接，所述传动轮通过所述传动带与所述刮刀装置相联动，所述传动电机驱动所述传动轮转动，以使所述刮刀装置在所述水平导轨上运动。7.根据权利要求1所述的固晶机，其特征在于，所述半导体器件传送机构包括：器件移动平台，设置于所述机台上；器件蓝膜，用于承载半导体器件，设置于所述器件移动平台，所述器件移动平台可带动所述器件蓝膜运动；器件视觉模块，用于对所述器件蓝膜上的所述半导体器件进行识别分析，所述器件移动平台带动所述器件蓝膜运动，可使所述器件视觉模块正对于所述器件蓝膜；及2CN105448780A权利要求书2/2页顶针，设置于所述器件蓝膜中部。8.根据权利要求1所述的固晶机，其特征在于，所述器件抓取机构包括：摆臂，架设于所述基板安装机构及所述半导体器件传送机构之间，所述摆臂可摆动；及吸嘴，设置于所述摆臂的端部。9.根据权利要求8所述的固晶机，其特征在于，还包括用于吹气或吸气的气路装置，所述气路装置与所述吸嘴相连通。10.根据权利要求1所述的固晶机，其特征在于，还包括工控机构，所述工控机构设置于所述机台内，并与基板安装机构、丝印机构、半导体器件传送机构及器件抓取机构通信连接。3CN105448780A说明书1/5页固晶机技术领域[0001]本发明涉及半导体封装技术，特别是涉及一种固晶机。背景技术[0002]传统的固晶机用于实现半导体器件与基板间的电气连接。传统