一种石墨加热器及包含石墨加热器的单晶炉.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115125622A(43)申请公布日2022.09.30(21)申请号202210563885.0(22)申请日2022.05.23(71)申请人平顶山市博翔碳素有限公司地址467400河南省平顶山市宝丰县商酒务镇房庄村白衣堂自然村(72)发明人魏延召王晓东王东旭王晓明(74)专利代理机构郑州智多谋知识产权代理事务所(特殊普通合伙)41170专利代理师尚秘(51)Int.Cl.C30B35/00(2006.01)H05B3/02(2006.01)H05B3/03(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称一种石墨加热器及包含石墨加热器的单晶炉(57)摘要本发明公开了一种石墨加热器及包含石墨加热器的单晶炉，包括石墨加热器本体，石墨加热器本体包括多个均匀设立的加热板和导热板，加热板的顶部与固定环连接，底部套设在导热板的顶部，导热板的底部向圆心处弯曲，导热板的表面设有槽孔，加热板与导热板通过石墨螺栓在槽孔处固定连接，加热板与导热板套设高度可依据槽孔可调，石墨加热器的外圆周在加热板上均匀的设有多个第一电极杆；该发明石墨加热器及包含石墨加热器的单晶炉在使用时能够保证坩埚及物体受热均匀，且石墨加热器可根据坩埚高度可调，单晶炉在使用时也能及时对物体进行波动调整位置，进一步使物体受热均匀，有利于生长出高质量晶体。CN115125622ACN115125622A权利要求书1/1页1.一种石墨加热器，包括石墨加热器本体，所述石墨加热器本体呈圆柱状，其特征在于，所述石墨加热器本体包括多个均匀设立的加热板和导热板，所述加热板和导热板竖直设立并一一对应，所述加热板的顶部与固定环连接，底部套设在导热板的顶部，所述导热板的底部向圆心处弯曲，所述导热板的表面设有槽孔，所述加热板与导热板通过石墨螺栓在槽孔处固定连接，所述加热板与导热板套设高度可依据槽孔可调，所述石墨加热器本体的外圆周在加热板上均匀的设有多个第一电极杆，所述第一电极杆将热量通过加热板传输至导热板，所述石墨加热器本体内设有用于盛放物体的坩埚，所述石墨加热器本体的底部设有旋转加热机构。2.根据权利要求1所述的石墨加热器，其特征在于，所述旋转加热机构包括设在石墨加热器本体底部的固定盘，所述固定盘的外部设有可转动的转动盘，所述导热板的外部贴合有多个导热片，所述导热片的外壁固定连接有旋转内环，所述旋转内环的外圆周设有固定外环，所述固定外环固定不动时，所述导热片能够随着旋转内环贴合导热板旋转，所述导热片与转动盘之间通过固定杆连接，所述旋转盘转动时通过固定杆使导热片在固定外环内旋转，其中所述转动盘的外部设有传动齿轮，所述传动齿轮的下方设有电机，所述转动盘的外圆周设有与传动齿轮相啮合的啮合齿。3.根据权利要求2所述的石墨加热器，其特征在于，所述固定盘的底面设有支撑腿和第二电极杆，所述第二电极杆与固定盘同轴设立并向外延伸。4.根据权利要求3所述的石墨加热器，其特征在于，所述导热片的其中一侧面呈圆弧状并贴合导热板，另一侧面呈圆弧状并固定在旋转内环上，所述导热片在靠近导热板的两条棱设有弧形倒角，其中导热片始终贴合导热板。5.根据权利要求1所述的石墨加热器，其特征在于，所述坩埚的外表面在石墨加热器本体内贴合导热板，所述坩埚内设有多个放置台阶，所述坩埚在最下方的放置台阶处设有梯形斜面。6.一种包含权利要求1‑5任一所述的石墨加热器的单晶炉，其特征在于，所述石墨加热器本体设在单晶炉内，所述支撑腿和电机固定在单晶炉的内底面，所述第一电极杆和第二电极杆穿过单晶炉向外延伸，所述单晶炉的上方设有可开合的端盖，所述端盖的中心处设有可上下移动的立杆，所述端盖上设有物料波动机构。7.根据权利要求6所述的包含石墨加热器的单晶炉，其特征在于，所述物料波动机构包括两个对称设立的第一曲杆和第二曲杆，两个所述第一曲杆的端部与立杆固定连接，所述第二曲杆与第一曲杆的底部铰接，其中两个第二曲杆相对设立，两个所述第二曲杆的端部相对设立有波动铲，两个第二曲杆向上弯曲时两个波动铲相接触。8.根据权利要求7所述的包含石墨加热器的单晶炉，其特征在于，所述波动铲的底部设有弧形倒角，所述波动铲与第一曲杆之间倾斜设有伸缩杆或拉簧。2CN115125622A说明书1/4页一种石墨加热器及包含石墨加热器的单晶炉技术领域[0001]本发明涉及石墨加热器技术领域，尤其涉及一种石墨加热器及包含石墨加热器的单晶炉。背景技术[0002]石墨加热器可以根据不同需要压制成各种形状，且导热率较高，是一种环保无污染的材质，表面喷涂特氟龙后耐酸碱，适用与环境保护、高等院校、科研、化工等领域。而传统的石墨加热器机构单一，整体发热或受热不均匀将会影响内部待加热的产品，且加热器高度不易根据需求及时调节，而单晶炉