光纤用玻璃基材的制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114262148A(43)申请公布日2022.04.01(21)申请号202111004140.2(22)申请日2021.08.30(30)优先权数据2020-1557312020.09.16JP(71)申请人信越化学工业株式会社地址日本国东京都千代田区大手町二丁目6番1号(72)发明人小岛大辉(74)专利代理机构北京汇思诚业知识产权代理有限公司11444代理人韩飞龚敏(51)Int.Cl.C03B37/018(2006.01)C03B37/014(2006.01)权利要求书1页说明书9页附图3页(54)发明名称光纤用玻璃基材的制造方法(57)摘要提供了一种光纤用玻璃基材的制造方法，该方法可获得在纵向方向上具有减少的光学性质波动的光纤用玻璃基材。所述光纤用玻璃基材的制造方法包括：第一热处理步骤，其中插入烧结炉的容器中的多孔玻璃基材在烧结炉的容器内的含有基于氯的气体的气氛中沿纵向方向上升或下降的同时，通过安装在所述容器的外周的加热器加热；第二热处理步骤，其中在所述第一热处理步骤之后，所述多孔玻璃基材在所述容器内的含有惰性气体的气氛中沿纵向方向上升或下降的同时，通过所述加热器加热以获得透明玻璃体；和在所述第二热处理步骤之前的预掺氟步骤，其中所述多孔玻璃基材的一端或两端在所述容器内的含有基于氟的气体的气氛中通过所述加热器加热。CN114262148ACN114262148A权利要求书1/1页1.一种光纤用玻璃基材的制造方法，所述方法包括：第一热处理步骤，其中，插入烧结炉的容器中的多孔玻璃基材在烧结炉的容器内的含有基于氯的气体的气氛中沿纵向方向上升或下降的同时，通过安装在所述容器的外周的加热器加热；第二热处理步骤，其中，在所述第一热处理步骤之后，所述多孔玻璃基材在所述容器内的含有惰性气体的气氛中沿纵向方向上升或下降的同时，通过所述加热器加热以获得透明玻璃体；和在所述第二热处理步骤之前的预掺氟步骤，其中，所述多孔玻璃基材的一端或两端在所述容器内的含有基于氟的气体的气氛中通过所述加热器加热。2.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述预掺氟步骤在所述第一热处理步骤之前进行。3.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述预掺氟步骤在所述第一热处理步骤完成之后进行。4.根据权利要求1所述的制造方法，其中，在所述第一热处理步骤中，所述容器内部具有基于氯的气体和基于氟的气体的混合气氛。5.根据权利要求1所述的制造方法，其中，在所述第二热处理步骤中，所述容器内部具有惰性气体和基于氟的气体的混合气氛。6.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述预掺氟步骤在所述多孔玻璃基材处于固定位置或轻微移动的情况下进行。7.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述预掺氟步骤在1000℃与1400℃之间的温度下进行。8.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述加热器的长度是所述多孔玻璃基材的长度的四分之一以下。9.根据权利要求1所述的制造方法，其中，引入所述容器中的所述基于氟的气体为SiF4、CF4、SF6和C2F6中的任一种。10.根据权利要求1所述的制造方法，其中，引入所述容器中的所述基于氯的气体为SiCl4或Cl2。2CN114262148A说明书1/9页光纤用玻璃基材的制造方法[0001]相关申请的交叉引用[0002]根据35U.S.C.§119(a)，本非临时申请请求于2020年9月16日递交的日本专利申请No.2020‑155731的优先权的权益，其全部内容以引用的方式并入本文。技术领域[0003]本发明涉及一种使多孔玻璃基材脱水和烧结的透明玻璃化工艺，以及特别地，涉及一种光纤用玻璃基材的制造方法，当掺有氟时该光纤用玻璃基材在纵向方向上具有均一的性质。背景技术[0004]已知一种玻璃基材的制造方法，其中将多孔玻璃基材置于加热炉中并脱水、掺氟和烧结以获得透明玻璃基材。[0005]在JP2004‑307281中，描述了将多孔玻璃基材置于加热炉中并在含氯气体气氛下使其移动通过加热区域以使其脱水，然后在氟气气氛下使其移动通过加热区域以实施加氟处理，然后使其经受透明玻璃化工艺以获得在径向方向上均匀掺氟的透明玻璃基材。[0006]在JP2012‑250887中，描述了将多孔玻璃基材置于加热炉中并在含氯气体气氛下使其移动通过加热区域以使该基材脱水，然后在含有氦气和含氟气体气氛下使其移动通过加热区域以将氟掺入部分包层并使其成为透明玻璃。[0007]在JP2017‑154935中，描述了多孔玻璃基材在均热炉中静置的状态下，在含氯气体气氛下加热基材使所述基材脱水，在含氟气体气氛下加热以掺氟，然后在含有氦气的气氛下加热以使其成为透明玻璃。发明内容[0008][技术问题][0009]当在烧结期间将氟掺