一种高温旋转料台气压炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113532116A(43)申请公布日2021.10.22(21)申请号202110663119.7(22)申请日2021.06.15(71)申请人西安交通大学地址710049陕西省西安市咸宁西路28号(72)发明人王红洁卢德贾书海彭康苏磊牛敏庄磊(74)专利代理机构西安通大专利代理有限责任公司61200代理人范巍(51)Int.Cl.F27B17/00(2006.01)F27D1/00(2006.01)F27D5/00(2006.01)F27D9/00(2006.01)F27D99/00(2010.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称一种高温旋转料台气压炉(57)摘要本发明公开了一种高温旋转料台气压炉，属于纳米陶瓷沉积设备技术领域，可使料台在高温高压下连续旋转。包括磁驱动旋转装置、回转轴和高压炉体；所述高压炉体上方设有炉盖，磁驱动旋转装置位于炉盖上方，回转轴上端与磁驱动旋转装置相连，下端穿过炉盖伸入高压炉体内，且回转轴伸入高压炉体内的端部连接有旋转料台，磁驱动旋转装置驱动回转轴转动时能够同时带动旋转料台转动。本发明通过气压烧结炉外旋转磁场驱动，节能环保且能保证高效平稳运行，回转轴带动旋转料台连续旋转，结构简单，操作便捷，消除了沉积不均匀的现象，能够有效提高待加工产品的品质。CN113532116ACN113532116A权利要求书1/1页1.一种高温旋转料台气压炉，其特征在于，包括磁驱动旋转装置(1)、回转轴(3)和高压炉体(5)；所述高压炉体(5)上方设有炉盖(6)，磁驱动旋转装置(1)位于炉盖(6)上方，回转轴(3)上端与磁驱动旋转装置(1)相连，下端穿过炉盖(6)伸入高压炉体(5)内，且回转轴(3)伸入高压炉体(5)内的端部连接有旋转料台(4)，磁驱动旋转装置(1)驱动回转轴(3)转动时能够同时带动旋转料台(4)转动；在高压炉体(5)的内腔四周设有保温结构(2)，且该保温结构(2)包覆伸入高压炉体(5)内的回转轴(3)。2.根据权利要求1所述的高温旋转料台气压炉，其特征在于，所述回转轴(3)分为回转轴高温段(3‑a)和回转轴低温段(3‑b)；回转轴高温段(3‑a)为伸入高压炉体(5)的内腔至保温结构(2)顶端的部分，回转轴低温段(3‑b)为保温结构(2)顶端至炉盖(6)的部分。3.根据权利要求2所述的高温旋转料台气压炉，其特征在于，回转轴高温段(3‑a)采用C‑C高强度复合材料制成，回转轴低温段(3‑b)采用水冷不锈钢材料制成。4.根据权利要求2所述的高温旋转料台气压炉，其特征在于，所述保温结构(2)由第一多层隔热组件(2‑a)和第二多层隔热组件(2‑b)组成，第一多层隔热组件(2‑a)包覆于回转轴高温段(3‑b)四周，且第一多层隔热组件(2‑a)会随着回转轴(3)的转动而转动，第二多层隔热组件(2‑b)固定在炉盖上，第二多层隔热组件(2‑b)处于静止态不随回转轴(3)的转动而运动。5.根据权利要求4所述的高温旋转料台气压炉，其特征在于，第一多层隔热组件(2‑a)和第二多层隔热组件(2‑b)均采用C‑C复合材料制成。6.根据权利要求4所述的高温旋转料台气压炉，其特征在于，第一多层隔热组件(2‑a)通过固定螺丝(7)与回转轴高温段(3‑b)固定；第二多层隔热组件(2‑b)通过固定螺丝(7)固定在炉盖上。7.根据权利要求6所述的高温旋转料台气压炉，其特征在于，所述气压烧结炉(5)采用三高石墨制成，固定螺丝(7)采用石墨材质制成。8.根据权利要求1～7中任意一项所述的高温旋转料台气压炉，其特征在于，高压炉体(5)采用高压反应釜密封结构，压力范围为0.1～10MPa；在炉体四周设有冷却水循环管路。9.根据权利要求8所述的高温旋转料台气压炉，其特征在于，在高压炉体(5)内还设有用于监测实时温度的热电偶。10.根据权利要求9所述的高温旋转料台气压炉，其特征在于，采用空心轴液压缸与热电偶连接，用于控制热电偶在炉内的进出，空心轴液压缸前端采用法兰与炉体连接。2CN113532116A说明书1/4页一种高温旋转料台气压炉技术领域[0001]本发明属于气压烧结炉、纳米陶瓷沉积设备技术领域，具体涉及一种高温旋转料台气压炉。背景技术[0002]硅基纳米线构筑的柔性陶瓷纸因其具备独特的力学性能和高温稳定性，是目前国际上的研究热点。但目前硅基柔性陶瓷纸的制备技术仍不成熟，所得到的硅基柔性陶瓷纸质量和厚度不均匀，这成为困扰硅基柔性陶瓷纸的实际应用和科学研究。硅基柔性陶瓷纸的生长本质上是一个类CVD化学气相反应和沉积过程，即通过原料在高温下生成的气体进行反应，并在基板上形核长大的过程。高品质且厚度均匀的硅基柔性陶瓷纸需要一个均匀的气相环境，若料台在高温高压