一种相互补料的单晶炉及其使用方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112981528A(43)申请公布日2021.06.18(21)申请号202110287844.9(22)申请日2021.03.17(71)申请人杨斌地址225500江苏省泰州市姜堰区姜堰镇东海北路211号(72)发明人杨斌(51)Int.Cl.C30B29/06(2006.01)C30B15/02(2006.01)C30B15/30(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图4页(54)发明名称一种相互补料的单晶炉及其使用方法(57)摘要本发明公开了一种相互补料的单晶炉及其使用方法，包括炉体，所述炉体内设有两个开口向上的存放腔，所述存放腔内设有用于熔融多晶硅的熔融组件，所述存放腔上侧设有用于夹紧固定子晶的夹紧组件，两个所述存放腔之间设有用于导流的熔融液体的转接组件，所述转接组件包括连通左右两侧所述存放腔的连通腔，在进行超规模单晶硅棒拉晶时，根据需要自动完成左右两侧石英锅内的熔融液体的互换，从而可以便于实现所需的长度拉晶，从而扩大生产范围，在二次添加熔融液体的时候，自动完成左右两侧的石英锅的升降，从而保证拉晶的石英锅的拉晶液体平面，从而保证拉晶的平稳进行。CN112981528ACN112981528A权利要求书1/2页1.一种相互补料的单晶炉，包括炉体，其特征在于：所述炉体内设有两个开口向上的存放腔，所述存放腔内设有用于熔融多晶硅的熔融组件，所述存放腔上侧设有用于夹紧固定子晶的夹紧组件，两个所述存放腔之间设有用于导流的熔融液体的转接组件，所述转接组件包括连通左右两侧所述存放腔的连通腔，所述连通腔内设有左右两端分别位于左右两侧所述存放腔内的固定管，所述存放腔内还设有封盖，所述封盖以及位于所述存放腔内的所述固定管内均设有连通所述存放腔的圆环腔，所述圆环腔内滑动连接有圆环块，左右两侧所述圆环块之间固定连接有圆筒，所述圆筒上侧设有连通所述圆筒且可伸缩的伸缩管，所述伸缩管上端固定有内部连通所述伸缩管内部的连接管，所述存放腔下侧设有用于控制所述石英锅升降的抬升组件，所述炉体内还设有控制所述夹紧组件升降的升降组件。2.根据权利要求1所述的一种相互补料的单晶炉，其特征在于：所述熔融组件包括位于所述存放腔内的石英锅，所述石英锅内设有开口向上的熔融腔，所述熔融腔左右内壁以及下内壁内均设有用于加热的加热板，所述熔融腔底部设有用于转动的石英圆板，所述熔融腔远离所述转接组件的内壁捏设有转动腔，所述转动腔上内壁固定连接有转动电机，所述转动电机下端动力连接有转动轴，所述转动轴下端固定有靠近所述转接组件的一端与所述石英圆板啮合的转动齿轮，所述熔融腔靠近所述转接组件的内壁内设有连通所述熔融腔与所述存放腔的移动腔，所述移动腔内滑动连接有阻止所述熔融腔与所述存放腔连通的阻挡板，所述阻挡板内设有连通所述熔融腔与所述存放腔的进料管，所述进料管内设有开关，所述进料管靠近所述转接组件的一端伸入到所述连接管内部。3.根据权利要求1所述的一种相互补料的单晶炉，其特征在于：所述移动腔前后内壁之间的距离大于所述熔融腔前后内壁之间的距离。4.根据权利要求1所述的一种相互补料的单晶炉，其特征在于：所述抬升组件包括位于所述存放腔下内壁内且开口向上的液压抬升腔，所述液压抬升腔内滑动连接有抬升板，所述抬升板上端固定有上端位于所述存放腔内的支撑柱，所述支撑柱上端固定有支撑所述存放腔的支撑板。5.根据权利要求1所述的一种相互补料的单晶炉，其特征在于：左右两侧所述液压抬升腔之间通过液压管道连通，所述液压管道内设有第一液压泵。6.根据权利要求1所述的一种相互补料的单晶炉，其特征在于：所述升降组件包括位于所述炉体内的储液腔，所述储液腔内设有两个上内壁连通外部的液压升降腔，所述液压升降腔与所述储液腔之间通过连接管道连通，所述连接管道内设有第二液压泵，所述液压升降腔内滑动连接有升降板，所述升降板上端固定连接有上端位于外部的升降柱。7.根据权利要求1所述的一种相互补料的单晶炉，其特征在于：所述夹紧组件包括固定连接在所述升降柱上端的固定板，所述固定板上端转动连接有被外部动力带动转动的转动盘，所述转动盘内设有上下贯通且下内壁贯通所述固定板的转动孔，所述转动孔左右内壁内均设有靠近所述转动孔中心的一端位于转动孔内的夹紧螺纹杆，所述夹紧螺纹杆远离所述转动孔中心的一端位于外部，所述夹紧螺纹杆与所述转动盘通过螺纹连接。8.根据权利要求1所述的一种相互补料的单晶炉的使用方法，其特征在于：初始状态下，所述伸缩管处于被收缩的状态；第一步：将子晶放置在转动孔内，手动转动左侧夹紧螺纹杆，使得左右两侧的夹紧螺纹杆夹紧子晶，将多晶硅放置在两侧熔融腔内，加热板工作开始加热多晶硅使得多晶硅融化；2CN112981528A权利要求书2/2页第二步：需要进行