一种高利用率的稀土金属旋转靶材及其制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109536902A(43)申请公布日2019.03.29(21)申请号201910041191.9(22)申请日2019.01.16(71)申请人广州市尤特新材料有限公司地址510800广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号(72)发明人肖世洪雷雨周志宏肖世文沈艳斌周昭寅(74)专利代理机构佛山帮专知识产权代理事务所(普通合伙)44387代理人颜德昊(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)C22C1/02(2006.01)C22C28/00(2006.01)B22D13/02(2006.01)权利要求书1页说明书2页(54)发明名称一种高利用率的稀土金属旋转靶材及其制备方法(57)摘要本发明提出了一种高利用率的稀土金属旋转靶材及其制备方法，该稀土金属选择靶材的制备包括：S1、在冶炼炉内，将稀土金属放入坩埚中加热至800-2000℃待稀土金属完全熔化至液态；S2、将熔化的稀土金属倒入管状模具中浇铸成型；S3、待模具内稀土金属冷却固化后，进行脱模，得到靶材毛坯；S4对得到的靶材毛坯进行机加工；S5、加工后的靶材绑定在金属圆管上得到稀土金属旋转靶材。本发明公开的稀土金属旋转靶材的制备方法工艺简单、耗能少、易于规模化生产，制备得到的稀土旋转靶材质量好，具体体现在密度高、无裂纹孔隙、良品率高、成本低，提高钕铁硼永磁材料的矫顽力。本发明制备得到的稀土金属旋转靶材的利用率高大80％以上。CN109536902ACN109536902A权利要求书1/1页1.一种高利用率的稀土金属旋转靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、在真空冶炼炉内，将稀土金属放入坩埚中加热至1000-1800℃待稀土金属完全熔化成液态；S2、将熔化的稀土金属倒入管状模具中浇铸成型；S3、待模具内稀土金属冷却固化后，进行脱模，得到靶材毛坯；S4、对得到的靶材毛坯进行机加工成所需要的尺寸和精度；S5、加工后的靶材绑定在金属圆管上得到稀土金属旋转靶材。2.根据权利要求1所述的稀土金属旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中，加热方式采用涡流加热或者高频感应加热。3.根据权利要求1所述的稀土金属旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中，真空冶炼炉中的真空度为10-1-10-4Pa。4.根据权利要求1所述的稀土金属旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中，稀土金属为Dy或者Dy/Tb或者Tb或者Pr。5.根据权利要求1所述的稀土金属旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中，浇铸成型的方法为模具浇铸或离心浇铸。6.根据权利要求1所述的稀土金属旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤S5中，金属圆管为铜管、不锈钢管、钛管或者以上金属的合金管。7.一种高利用率的稀土金属旋转靶材，其特征在于，所述的稀土金属旋转靶材采用权利要求1-6任一项所述的制备方法制得。2CN109536902A说明书1/2页一种高利用率的稀土金属旋转靶材及其制备方法技术领域[0001]本发明涉及一种靶材及其制备方法，特别是涉及一种高利用率的稀土金属旋转靶材及其制备方法。背景技术[0002]很多行业对钕铁硼(NdFeB)永磁材料的性能要求越来越高。为了提高钕铁硼(NdFeB)永磁材料的矫顽力和高温使用性，目前常使用的方法是采用重稀土金属Dy、Dy/Tb、Tb、Pr等靶材通过磁控溅射镀膜方式溅射到钕铁硼(NdFeB)材料表面形成覆盖层，经高位晶界扩散将稀土金属扩散至磁体内部以达到提高磁体矫顽力、少量使用稀土的目的，降低成本。[0003]现有的稀土金属旋转靶材的稀土金属利用率低，导致成本高昂，另外，靶材的加工难度大，不利于生产。发明内容[0004]本发明的目的在于提出一种高利用率的稀土金属旋转靶材及其制备方法，该稀土金属旋转靶材可以提高稀土金属在钕铁硼材料表面镀膜渗Dy、Dy/Tb、Tb、Pr工艺中的利用率，大幅度降低生产成本，提高钕铁硼(NdFeB)永磁材料的矫顽力。[0005]为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案予以实现：[0006]一种高利用率的稀土金属旋转靶材的制备方法，包括如下步骤：[0007]S1、在真空冶炼炉内，将稀土金属放入坩埚中加热至1000-1800℃，至稀土金属完全熔化成液态；[0008]S2、将熔化的稀土金属倒入管状模具中浇铸成型，模具可以是一个或多个；[0009]S3、待模具内稀土金属冷却固化后，进行脱模，得到靶材毛坯；[0010]S4、对得到的靶材毛坯进行机加工成所需要的尺寸和精度；[0011]S5、加工后的靶材绑定在金属圆管上得到稀土金属旋转靶材。[0012]作为优选地，所述步骤S1中，加热方式采用涡流加热或者高频感应加热，真空冶炼炉中的真空度为1