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MEMS 电热驱动器综述 基本原理 驱动分类 优缺点 综述基本原理热膨胀：指物体因温度改变而发生的膨胀现象。通常是指 外压强不变的情况下，大多数物质在温度升高时， 其体积增大，温度降低时体积缩小。电 热 驱 动双金属热致动双金属热致动悬臂梁结构示意图双金属热致动微型泵结构框图具有导向性的分段式双层膜电热驱动器热膨胀致动热膨胀致动电热式驱动器驱动微平面热膨胀致动新型复合结构V型电热微驱动器：热气动优缺点
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