脆性基板划线器用粉尘去除装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107379300A(43)申请公布日2017.11.24(21)申请号201710223546.7(22)申请日2017.04.07(30)优先权数据10-2016-00593662016.05.16KR(71)申请人三星钻石工业股份有限公司地址日本国大阪府摄津市香露园32-12(72)发明人金荣男田珉硕(74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司11287代理人杨林勋(51)Int.Cl.B28D7/02(2006.01)C03B33/10(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图8页(54)发明名称脆性基板划线器用粉尘去除装置(57)摘要本发明的目的在于去除划线时所产生的粉尘。本案涉及脆性基板划线器用粉尘去除装置。该脆性基板划线器用粉尘去除装置设置有：粉尘上升部(51)，具备使划线轮向下通过的头通道(51d)，喷出空气而形成包围划线轮的空气幕，并且使划线时所产生的粉尘从基板(A)上升；空气供给机构，对粉尘上升部(51)供给空气；流速调节部，控制对粉尘上升部(51)供给的空气的流动量，而调节从粉尘上升部(51)喷出的空气的流速；及排出机构，将通过粉尘上升部(51)的作用而上升的粉尘与空气一起从空气幕的内侧区域排出到外部。CN107379300ACN107379300A权利要求书1/1页1.一种脆性基板划线器用粉尘去除装置，其特征在于包含：粉尘上升部(51)，具备使划线轮向下通过的头通道(51d)，喷出空气而形成包围所述划线轮的空气幕，并且使划线时所产生的粉尘从基板(A)上升；空气供给机构，对所述粉尘上升部(51)供给空气；流速调节部，控制对所述粉尘上升部(51)供给的空气的流动量，而调节从所述粉尘上升部(51)喷出的空气的流速；及排出机构，将通过所述粉尘上升部(51)的作用而上升的粉尘与空气一起从所述空气幕的内侧区域排出到外部。2.根据权利要求1所述的脆性基板划线器用粉尘去除装置，其特征在于，所述粉尘上升部(51)，采用相对于基板(A)形成为水平的板的形态；且包含底板(51a)，该底板具有：空气室(51b)，接收通过所述空气供给机构供给的空气；及空气喷出部，将所述空气室(51b)内的空气向基板(A)喷出。3.根据权利要求2所述的脆性基板划线器用粉尘去除装置，其特征在于，所述空气喷出部包含多个喷射孔(51c)或喷射狭缝(51p)，所述喷射孔(51c)或喷射狭缝(51p)形成于所述头通道(51d)的周边，将所述空气室(51b)内的空气以偏向于所述划线轮侧的方式喷出。4.根据权利要求2或3所述的脆性基板划线器用粉尘去除装置，其特征在于，所述空气室(51b)为以包围所述头通道(51d)之方式延伸、且在上部开放的沟形槽，在所述粉尘上升部(51)还具备罩板(51e)，所述罩板通过固定于所述底板(51a)的上表面而密闭所述空气室(51b)，并且具有将通过所述空气供给机构供给的空气引导到所述空气室(51b)的多个供气路径(51g、51k)。5.根据权利要求4所述的脆性基板划线器用粉尘去除装置，其特征在于，在所述罩板(51e)，设置有使上升的粉尘与空气通过并将之引导到所述排出机构的主排出口(51f)及排出引导路径(51m)。2CN107379300A说明书1/6页脆性基板划线器用粉尘去除装置技术领域[0001]本发明涉及使用于切断具有脆性的各种基板的划线器，更详细来说，涉及能够去除划线时产生的粉尘的脆性基板划线器用粉尘去除装置。背景技术[0002]作为用以将包含玻璃基板的各种脆性基板切断成所需尺寸的工具，使用具备划线轮的划线器。划线器使切断轮以压接于基板的表面的状态一面施加负荷一面行走，从而在基板表面形成划线。在形成划线后，进行以划线为中心对基板施加弯曲力而将之切断的分段过程。[0003]划线轮以支撑在划线头的下端部的状态相对于基板滚动运动而形成划线，但此时会产生大量粉尘。粉尘例如为玻璃粉，从基板分离的细微的基板粒子飞散。[0004]此种粉尘污染划线头本身自不必说，也污染头周边，成为使作业精度下降的原因，又，有时也会进入到作业者的呼吸器中而引起产业灾害。[0005]为了解决此种问题，提出有使用真空吸附装置吸取粉尘，或喷射空气使粉尘飞散，或进行涮洗等方法，但满意地去除一面不规则地飞散一面产生的粉尘存在极限。[0006]例如，在专利文献1中，揭示有由喷嘴底座、罩及安装部组装构成的喷嘴，但无法使用所述喷嘴完美地去除粉尘。其理由为排出喷出的空气并不顺利。[0007]在所述以往的吸尘机中，空气的排出通道为半轨道状槽与贯通孔，但由于半轨道状槽仅覆盖贯通孔的一半，故上升到贯通孔上部的空气与粉尘的一部分无法进入半轨道状槽，而直接排出到大气中。[0008]背景技术文献[