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微晶硅硼薄膜结构的喇曼研究
微晶硅硼薄膜结构的喇曼研究
摘要:
微晶硅(Si:H)及硼薄膜(B)是一种具有广泛应用前景的材料,近年来吸引了广泛的研究关注。本文研究了微晶硅硼(Si:B)薄膜的结构及其与物理性质之间的关系。通过喇曼光谱技术分析,我们揭示了Si:B薄膜的晶体结构和晶粒尺寸对其光学和电学性质的影响。研究结果表明,Si:B薄膜的晶格结构与硼含量和预制条件有关,同时晶粒尺寸的变化会显著影响薄膜的光学和电学性质。
1.引言
微晶硅硼(Si:B)薄膜作为一种非晶态硅薄膜与晶体硼材料混合制备而成,具有较高的光透过率和电导率,因此在光伏和光电器件中具有广泛的应用潜力。之前的研究表明,Si:B薄膜的晶体结构和晶粒尺寸对其光学和电学性质有重要影响,但目前对于Si:B薄膜的结构及其与物理性质之间的关系仍存在争议。因此,深入研究Si:B薄膜的结构特征对于其应用性能的提升具有重要意义。
2.实验方法
实验中我们制备了一系列不同硼含量的Si:B薄膜样品,并采用喇曼光谱技术对样品进行分析。喇曼散射光谱实验是一种非常有效的表征材料晶体结构的方法,由于晶格振动引起的光子和杂质散射,使得散射光谱中出现了特征的峰值和频移。我们利用喇曼光谱实验测量了Si:B薄膜的晶格振动模式,并分析了其晶体结构和晶粒尺寸的变化。
3.结果与讨论
在不同硼含量的Si:B薄膜中,我们观察到了不同的喇曼散射峰,这表明薄膜的晶格结构发生了变化。在低硼含量的Si:B薄膜中,我们观察到了类似于非晶硅薄膜的散射峰,说明晶体硼的添加并未显著改变硅晶体的结构。随着硼含量的增加,我们观察到了新的喇曼峰的出现,这些峰与硼晶体的特征振动频率相对应,表明薄膜中硼的晶体结构逐渐形成。
此外,我们还发现了Si:B薄膜中晶粒尺寸的变化对其光学和电学性质的影响。随着晶粒尺寸的增大,薄膜的光吸收率降低,电导率增加。这是因为晶格缺陷和界面散射在大晶粒薄膜中减少,电子的传输路径得到改善。因此,控制Si:B薄膜的晶粒尺寸对于提高其光学和电学性能具有重要意义。
4.总结与展望
本文研究了Si:B薄膜的结构特征及其与光学和电学性质之间的关系。实验结果表明,硼含量和预制条件对Si:B薄膜晶格结构有重要影响,同时晶粒尺寸的变化也会显著影响薄膜的光学和电学性质。因此,进一步研究Si:B薄膜的结构调控方法和优化技术是今后的研究方向,以提高Si:B薄膜的应用性能和可靠性。
参考文献:
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[3]ChenC,ShiYF,ZhouJP,etal.Investigationoncrystallization,transientvoltageandelectroluminescenceofpureanddopeda-Si:HfilmspreparedbyVHF-PECVDandRF-PECVD[J].ProgressinChemistry,2004,16(1):119-125.
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