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激光干涉仪线性测长的准直调节方法
激光干涉仪是一种高精度测量设备，可以利用激光的干涉原理进行精确测量。激光干涉仪的核心是线性测长传感器，因此准确调节线性测长传感器的准直是保证激光干涉仪精度的关键之一。在本文中，我们将介绍激光干涉仪线性测长的准直调节方法。
一、激光干涉仪线性测长原理
激光干涉仪的线性测长原理是利用光的干涉现象来测量物体的长度。激光干涉仪主要由激光发生器、分束器、反射镜和传感器等组成。
在激光干涉仪中，激光发生器会产生一束光，然后由分束器将光分成两份，分别通过两根光纤到达反射镜。反射镜将激光反射回分束器，经过分束器的合成，形成了一个光程差。传感器会将两束光的干涉信号转化为电信号，通过电路处理后，输出测量结果。
二、激光干涉仪线性测长准直调节方法
激光干涉仪的准直调节是保证激光干涉仪能够正常工作和保持高精度的重要步骤之一。对于激光干涉仪线性测长的准直调节，需要保证传感器的接收面垂直于测量位置的方向，否则测量结果将会产生误差。
下面将介绍两种激光干涉仪线性测长准直调节方法：
1.对准法
对准法是一种比较常用的准直调节方法。该方法的原理是根据调节前后的干涉图形来判断传感器的准直性。
调节步骤如下：
（1）将反射镜固定在待测物体上，将激光发生器放置在反射镜对面的位置。
（2）打开激光干涉仪，通过调节反射镜的位置，使得激光的反射光线尽可能地返回激光发生器。
（3）移动传感器，将它靠近反射镜，记录传感器的初始位置。
（4）逐步移动传感器，将传感器的接收面靠近反射镜，使两束激光光线干涉产生最大的环形干涉条纹，记录传感器的当前位置。
（5）根据干涉图形与理论干涉图形的差异，确定调节传感器的方向和角度，持续调节直至两干涉图形高度一致。
该方法可以保证传感器在垂直于测量位置方向的同时，也能够保证传感器水平和竖直方向的位置精度。
2.检查法
检查法是一种快速检测准直性的方法。该方法基于传感器接收面的水平方向等同于有效测量的水平方向的基本原则。
调节步骤如下：
（1）将反射镜固定在待测物体上，将激光发生器放置在反射镜对面的位置。
（2）打开激光干涉仪，逐步移动传感器，记录干涉图形的变化情况。
（3）寻找两干涉图形高度一致且相邻，且干涉条纹竖直方向应该保持相交成正十字。
（4）记录这个正十字的位置，将传感器逆时针旋转90°，如果干涉条纹的位置不变，说明传感器已经垂直于测量位置，否则进行调节。
综上所述，激光干涉仪的线性测长准直调节是保证激光干涉仪精度的关键之一，两种调节方法都可以有效地保证传感器在垂直于测量位置方向的同时，也能够保证传感器水平和竖直方向的位置精度。