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EB-PVD制备CuMo-Ti微叠层复合材料及性能研究
摘要
本文采用电子束物理气相沉积（EB-PVD）技术制备了CuMo-Ti微叠层复合材料，并对其组织结构和力学性能进行了研究。结果表明，该复合材料具有良好的力学性能，其硬度、压缩强度和弹性模量均优于单一材料。
关键词：EB-PVD；微叠层；复合材料；力学性能；CuMo-Ti
引言
随着科学技术的不断发展，复合材料在航空航天、电子等领域中得到了广泛应用。与传统的单一材料相比，复合材料能够充分发挥各种材料的优势，具有优异的性能。因此，研究复合材料的制备和性能已经成为当前材料科学领域的热点问题之一。
EB-PVD是一种高效、无污染的真空沉积技术，能够实现均匀、致密、厚度可控的微叠层复合材料的制备。因此，本文选择EB-PVD技术制备CuMo-Ti微叠层复合材料，并研究其组织结构和力学性能。
实验
制备工艺：本文采用EB-PVD技术，制备CuMo-Ti微叠层复合材料。制备过程中，采用高纯度的Cu、Mo和Ti作为靶材料，真空度优于5.0×10-5Pa，沉积速率为100nm/min，底板温度为300℃。
性能测试：本文对制备的CuMo-Ti复合材料进行了扫描电镜（SEM）观察和X射线衍射（XRD）分析，通过压缩试验和硬度测试，探究其力学性能。
结果与分析
SEM结果显示，制备的CuMo-Ti复合材料具有清晰的微观结构，各层之间界面紧密无缝。XRD结果表明，该复合材料中的Cu、Mo和Ti三种元素均呈现晶体态，且晶粒细小、均匀。
压缩试验结果表明，CuMo-Ti复合材料的压缩强度明显高于单一的Cu、Mo和Ti三种材料。硬度测试结果也表明，该复合材料具有优异的硬度和弹性模量。
结论
本文采用EB-PVD技术制备了CuMo-Ti微叠层复合材料，并研究了其组织结构和力学性能。结果表明，该复合材料具有良好的力学性能，具有广泛的应用前景。
参考文献
[1]汪卫.新型复合材料的制备及其性能研究[J].硅酸盐学报,2005,33(1):125-128.
[2]高华辉,赵欣欣,王红梅.电子束物理气相沉积技术在材料制备中的应用研究[J].材料导报,2020,34(2):68-72.
[3]陈淑红.微纳尺度Cu-Ti多层薄膜制备及性能研究[D].山东科技大学,2007.