激光束分析装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103098319A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103098319103098319A(43)申请公布日2013.05.08(21)申请号201180028392.7(51)Int.Cl.(22)申请日2011.04.08H01S3/10(2006.01)H01S5/0683(2006.01)(30)优先权数据12/756,4762010.04.08US(85)PCT申请进入国家阶段日2012.12.07(86)PCT申请的申请数据PCT/US2011/0317762011.04.08(87)PCT申请的公布数据WO2011/127400EN2011.10.13(71)申请人HAAS激光技术公司地址美国新泽西州(72)发明人迈克尔·J·斯卡格斯(74)专利代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司11219权权利要求书2页利要求书2页说明书4页说明书4页附图4页附图4页代理人孙志湧安翔按照条约第19条修改的权利要求书1页按照条约第19条修改的权利要求书1页按照条约第19条修改的声明或说明1页按照条约第19条修改的声明或说明1页(54)发明名称激光束分析装置(57)摘要一种使得能够实时测量由高功率激光束产生的激光束的空间轮廓、圆度、形心、像散和M2值的装置。本装置采用了在过程应用中使用的光学器件，包括聚焦透镜和覆盖玻璃。衰减模块包括以相对于激光束的共同入射角、以彼此平行隔开的关系设置的一对高反射镜板。束流收集器在该激光束的传播路径之外并且以接收由该第一和第二镜反射的光的关系定位。相机检测通过该第一和第二镜的光的斑点。由高反射性镜对形成的高功率衰减器定位在源和衰减模块之间。第二实施例包括具有高反射性表面的单个镜板。CN103098319ACN10398ACN103098319A权利要求书1/2页1.一种使得能够分析高功率激光束的装置，包括：衰减多斑点模块，所述衰减多斑点模块包括一对高反射镜板，所述一对高反射镜板以相对于激光束的共同入射角、以彼此平行隔开的关系设置；所述对包括第一镜，所述第一镜在其面向所述激光束的源的第一表面上具有抗反射涂层，并且在其背对所述源的第二表面上具有高反射性涂层；所述对包括第二镜，所述第二镜在其背对所述源的第二表面上具有抗反射涂层，并且在其面向所述源的第一表面上具有高反射性涂层；第一束流收集器，所述第一束流收集器在所述激光束的传播路径之外并且以接收由所述第一和第二镜反射的光的关系定位；以及第一相机，所述第一相机用于检测通过所述第一和第二镜的光的斑点；由此所述激光束被充分地衰减，使得所述激光束可以被所述第一相机分析。2.根据权利要求1所述的装置，进一步包括：聚焦透镜，所述聚焦透镜设置在所述源和所述衰减多斑点模块之间。3.根据权利要求2所述的装置，进一步包括：道威棱镜，所述道威棱镜设置在所述源和所述聚焦透镜之间。4.根据权利要求3所述的装置，进一步包括：第二相机，所述第二相机设置在所述激光束的所述传播路径之外；并且所述道威棱镜具有第一反射表面，所述第一反射表面从所述激光束将至少一些光反射进所述第二相机。5.根据权利要求4所述的装置，进一步包括：高功率衰减器，所述高功率衰减器由高反射性镜对形成；所述高功率衰减器设置在所述源和所述道威棱镜之间；所述镜对包括第一高反射性镜，所述第一高反射性镜具有面向所述源的第一表面；所述镜对包括第二高反射性镜，所述第二高反射性镜具有面向所述源的第一表面；第二束流收集器，所述第二束流收集器设置在所述激光束的所述传播路径之外；所述第一高反射性镜将来自所述源的光反射至所述第二束流收集器；第三束流收集器，所述第三束流收集器设置在所述激光束的所述传播路径之外；并且所述第二高反射性镜将来自所述源的光反射至所述第三束流收集器。6.根据权利要求5所述的装置，进一步包括：所述第一高反射性镜以相对于所述激光束的所述传播路径成四十五度角定位；并且所述第二高反射性镜以相对于所述激光束的所述传播路径成一百三十五度角定位；由此所述第一高反射性镜造成所述传播路径的位移，并且所述第二高反射性镜将所述激光束返回到所述传播路径。7.根据权利要求1所述的装置，进一步包括：所述第一相机是像素化检测器。8.根据权利要求4所述的装置，进一步包括：所述第二相机是像素化检测器。9.一种能够分析高功率激光束的装置，包括：衰减多斑点模块，所述衰减多斑点模块包括以相对于激光束的预定的入射角布置的薄2CN103098319A权利要求书2/2页的、高反射镜板；所述高反射镜板在其面向所述激光束的源的第一表面上包括具有高反射性涂层的第一表面，并且在其背对所述源的第二表面上具有高反射性涂层；第一束流收集器，所述第一束流收集器在所述激光束的传播路径之外并且以接收由所述高反