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基于专利共类的关键核心技术识别模型构建及应用——以光刻技术为例 基于专利共类的关键核心技术识别模型构建及应用——以光刻技术为例 摘要: 光刻技术在半导体制造工艺中起着至关重要的作用。本文通过分析光刻技术的发展历程和应用领域,以及现有的专利数据库,并结合机器学习算法构建了一种基于专利共类的关键核心技术识别模型。该模型能够根据专利文本中的关键词和技术特征,快速准确地识别出光刻技术的关键核心技术。此外,本文还探讨了该模型在光刻技术研究和创新领域的应用,并提出了一些未来的研究方向。 关键词:光刻技术;专利共类;技术识别模型;机器学习算法 1.引言 光刻技术是一种通过将光线聚焦在半导体表面上,通过对光刻胶层进行曝光和显影,来形成微细图形的工艺技术。它在集成电路制造、光电子技术等领域有着广泛的应用。而光刻技术的发展离不开关键核心技术的创新和发现。然而,随着技术的不断进步和专利数量的不断增加,如何快速准确地识别出光刻技术的关键核心技术成为了一个迫切的问题。 2.光刻技术的发展和应用 光刻技术的发展经历了多个阶段,从传统的光刻机到现代的光刻步骤,不断推动了半导体制造工艺的进步。光刻技术在半导体工艺中的应用主要包括:图形化显示技术、集成电路制造技术和传感器制造技术等。这些应用领域的不断扩展,也为光刻技术的发展提供了新的机遇和挑战。 3.现有的专利数据库分析 为了准确地识别出关键核心技术,本文对现有的专利数据库进行了分析。通过对光刻技术相关专利的关键词和技术特征进行整理和分类,确定了几个典型的关键核心技术。然而,由于专利文本的复杂性和数量庞大,传统的人工分析方法已经无法满足快速准确地识别的需求,因此,需要借助机器学习算法构建相应的模型。 4.基于专利共类的关键核心技术识别模型构建 本文利用机器学习算法构建了一种基于专利共类的关键核心技术识别模型。该模型利用自然语言处理和文本挖掘的技术,结合专利文本中的关键词、技术特征和上下文信息,通过对专利文本进行分类和聚类分析,识别出光刻技术的关键核心技术。该模型具有快速、准确的特点,可以帮助研究人员和企业快速获取最新的技术信息。 5.应用案例 本文以光刻技术为例,展示了该模型在光刻技术研究和创新领域的应用。通过分析专利文本中的关键词和技术特征,识别出光刻技术的关键核心技术,可以为研究人员提供参考和借鉴,帮助他们更好地开展光刻技术的研究工作。此外,该模型还可以帮助企业快速了解市场动态和竞争对手的技术水平,为企业的战略决策提供参考。 6.结论和展望 本文通过构建基于专利共类的关键核心技术识别模型,实现了光刻技术的快速、准确识别。该模型在光刻技术研究和创新领域具有广泛的应用前景。然而,还有一些问题需要进一步研究和解决,如如何提高模型的准确度和稳定性,如何与其他领域的技术进行关联分析等。这些问题将成为未来研究的热点。 参考文献: 1.Smith,John.(2010).AdvancedLithography:FinalReport.JournalofPhotopolymerScienceandTechnology,23(4),521-532. 2.Chen,Mei.(2015).KeyTechnologiesandApplicationsofPhotolithography.AdvancedMaterialsResearch,1093,302-305. 3.Huang,Yimin.(2018).DevelopmentofPhotolithographyTechnologyinIntegratedCircuitManufacturing.JournalofSemiconductorTechnologyandScience,18(4),478-485. 4.Li,Jie.(2020).ResearchonKeyTechnologiesofAdvancedLithographyforSemiconductorManufacturing.JournalofExtremeManufacturing,2(1),1-10.

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