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新型双模热感微流量传感器的研究
新型双模热感微流量传感器的研究
摘要：
随着微流体领域的发展，微流量传感器的需求日益增长。本文介绍了一种新型双模热感微流量传感器的研究。该传感器采用了双热敏电阻、微加热片和读出电路等组成。通过对微流体的流经传感器时温度变化的测量，实现对微流量的测量。实验结果表明，该传感器具有高灵敏度、快速响应和良好的稳定性等优点。该研究为微流量传感器的进一步发展提供了一种新的思路。
关键词：微流体、双模热感、传感器、灵敏度、响应时间
1.引言
微流体技术是一门研究微尺度液体流动和传输的交叉学科，具有广阔的应用前景，在生物医学、化学分析、环境监测等领域得到越来越多的应用。微流量传感器作为微流体技术的重要组成部分，在微流体控制和实时监测方面发挥着重要的作用。然而，目前市场上大部分微流量传感器存在灵敏度不高、响应时间长等问题。因此，研发一种具有高性能的微流量传感器显得尤为重要。
2.设计原理
本文的研究中，采用了双模热感的设计原理。传感器主要由双热敏电阻、微加热片和读出电路等组成。当微流体经过传感器时，微加热片会将流体加热，并通过两个双热敏电阻测量温度变化。根据测得的温度变化，可以计算出微流量的数值。
3.实验方法
本研究中，使用微细加工技术制备了双热敏电阻和微加热片。通过热电阻测试系统测量了双热敏电阻的电阻随温度的变化关系，并通过电流源和电压源控制了微加热片的温度。使用实验室自行设计的实验装置，将微流体引入传感器，并通过数据采集系统采集了温度变化数据。
4.结果与讨论
实验结果显示，该传感器对微流量的测量具有高度的灵敏度和快速的响应时间。在不同温度下的实验中，传感器的输出信号与实际流量呈现出良好的线性关系。传感器对微小流量的测量能力也得到了验证。
5.总结与展望
通过对新型双模热感微流量传感器的研究，本文证明了该传感器具有优秀的性能。然而，仍然存在一些问题需要进一步解决，例如传感器的重复性和稳定性等。未来的研究可以通过优化传感器的设计和结构，进一步提高传感器的性能，并探索其他可能的测量原理。
参考文献：
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