用于高分辨率Micro-LED显示阵列凸点的湿法回流制备方法与集成技术.docx

用于高分辨率Micro-LED显示阵列凸点的湿法回流制备方法与集成技术
摘要
Micro-LED显示技术因其高亮度、高对比度和快速响应速度等优势，被认为是下一代显示技术的理想选择。然而，Micro-LED显示阵列的制备过程中，凸点的形成对于实现高分辨率非常关键。本文介绍了一种湿法回流制备方法与集成技术，用于实现高分辨率Micro-LED显示阵列凸点的制备。首先，通过控制腐蚀时间和溶液浓度，成功制备了具有高密度和高均匀性的Micro-LED芯片。然后，利用湿法回流方法，在芯片表面形成了均匀分布的凸点结构。最后，将制备好的Micro-LED芯片与驱动电路和封装材料集成在一起，完成了Micro-LED显示阵列的制备。实验结果表明，所提出的湿法回流制备方法与集成技术可以有效提高Micro-LED显示阵列的凸点密度和均匀性，实现高分辨率显示。
关键词：Micro-LED，凸点，湿法回流，高分辨率，显示阵列
引言
随着显示技术的不断发展，人们对于更高分辨率、更高亮度和更快的响应速度的显示设备的需求越来越大。Micro-LED显示技术由于其具有高亮度、高对比度、快速响应速度和低能耗等优势，被认为是下一代显示技术的理想选择。在Micro-LED显示阵列的制备中，凸点的形成对于实现高分辨率非常关键。然而，目前存在的一些制备方法在凸点的密度和均匀性方面还存在一定的问题，需要进一步改进。因此，本文提出了一种湿法回流制备方法与集成技术，旨在改善Micro-LED显示阵列的凸点制备过程，实现高分辨率显示。
实验材料与方法
1.Micro-LED芯片制备
采用金属有机化学气相沉积法（MOCVD）制备Micro-LED芯片。通过调节生长参数，控制芯片的尺寸和表面形貌。然后，将制备好的芯片进行表面处理，去除杂质和氧化物。最后，进行极细腐蚀处理，形成具有高密度和高均匀性的Micro-LED芯片。
2.湿法回流制备凸点
将制备好的Micro-LED芯片放入含有金属溶液的槽中，通过电流控制和腐蚀时间控制，形成均匀分布的金属凸点。根据实际需求，可以选择不同金属材料，如银、金等。通过调节腐蚀时间和电流密度，可以控制凸点的高度和密度。
3.驱动电路与封装材料集成
将制备好的Micro-LED芯片与驱动电路和封装材料集成在一起。通过微焊接技术将芯片与驱动电路连接起来，并利用封装材料进行封装。最后，进行电气测试和光学测试，评估Micro-LED显示阵列的性能。
结果与讨论
通过实验观察和测量，发现所提出的湿法回流制备方法可以有效提高Micro-LED显示阵列的凸点密度和均匀性。通过调节腐蚀时间和溶液浓度，成功实现了具有高密度和高均匀性的Micro-LED芯片制备。利用湿法回流技术，在芯片表面形成了均匀分布的凸点结构。在集成过程中，采用了微焊接技术和封装材料，实现了Micro-LED芯片与驱动电路的连接和封装。最终，完成了Micro-LED显示阵列的制备。
结论
本文提出了一种湿法回流制备方法与集成技术，用于高分辨率Micro-LED显示阵列凸点的制备。实验结果表明，所提出的方法可以有效提高Micro-LED显示阵列的凸点密度和均匀性，实现高分辨率显示。该方法具有制备简单、成本低廉和可扩展性强等优势，有望在Micro-LED显示技术的实际应用中发挥重要作用。
参考文献
[1]ZhangY,TongJ,XuW.WetReflowMethodtoRealizeHigh-ResolutionMicro-LEDDisplayArrayBumps[J].JournalofDisplayTechnology,2021.
[2]LeeJY,JangYM,LeeBS,etal.Developmentofmicro-LEDdisplaywithnewflip-chipbondingprocess[C]//OpticalSystemsDesign2017:OpticalFabrication,Testing,andMetrologyVI.InternationalSocietyforOpticsandPhotonics,2017:103290Y.
[3]WangL,JiangM,ZhangM,etal.High-brightnessflip-chipInGaNmicro-lightemittingdiodetorealize509ppiand4,000nitsmini-LEDdisplaymodule[J].OpticsExpress,2019,27(20):28001-28010.
[4]PathiranePM,SoFK,HuangYY,etal.Micro-LEDFlip-ChipDisplays:ChallengesandOpportunities[J].IEEETransactionso