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SiC功率器件辐照诱生缺陷实验研究进展 摘要: 本文综述了C功率器件辐照诱生缺陷实验研究的进展。首先介绍了C功率器件辐照效应的机理和影响因素,并讨论了其对器件性能的影响。然后详细介绍了常用的辐照实验方法,包括离子注入、中子辐照和电子束辐照等。接着综述了各类C功率器件辐照诱生缺陷的实验研究,如漏电流增加、击穿电压降低、特征频率发生变化等。最后,总结了C功率器件辐照诱生缺陷实验研究的问题和未来可能的研究方向。 关键词:C功率器件;辐照效应;缺陷实验;研究进展 引言: 随着电力能源的不断快速发展和应用领域的不断扩大,C功率器件在能源转换和电力传输中发挥着越来越重要的作用。辐照效应是C功率器件长期运行中的一种重要的失效机制,其主要表现为器件性能的退化和寿命的缩短。因此,对C功率器件的辐照诱生缺陷进行实验研究具有重要的意义。本文将综述已有的C功率器件辐照诱生缺陷实验研究进展,以期为今后的研究提供参考和借鉴。 一、C功率器件辐照效应的机理和影响因素 C功率器件的辐照效应是指在辐照环境下,器件性能出现不可逆性的退化现象。其机理是由于辐照引起了器件材料中的结构缺陷和能带结构的改变,进而导致了电学、光学和热学等性能的变化。辐照效应的严重程度受到多种因素的影响,包括辐照能量、剂量率、辐照温度和辐照剂量等。 二、C功率器件辐照实验方法 为了研究C功率器件的辐照诱生缺陷,通常采用离子注入、中子辐照和电子束辐照等方法进行实验。离子注入是将离子束注入器件材料中,模拟真实辐照环境的一种有效方法。中子辐照是将器件放置在中子源中,利用中子辐照器对器件进行辐照。电子束辐照则是利用电子加速器产生高能电子束,照射到器件上。这些实验方法各有优缺点,研究者可根据具体研究目的选择。 三、C功率器件辐照诱生缺陷的实验研究 针对C功率器件的辐照诱生缺陷,已经开展了大量的实验研究。其中一项重要的研究内容是器件的漏电流增加现象。研究者通过辐照实验发现,在高剂量率和高辐照温度下,器件的漏电流明显增加,严重影响了器件的性能。此外,击穿电压降低也是另一个常见的辐照效应。辐照会导致器件中能带结构的改变,使得器件的击穿电压显著降低。此外,器件的特征频率,如截止频率和共振频率等,也会发生变化。这些研究结果对于进一步理解C功率器件的辐照效应和改善器件性能具有重要意义。 四、问题及未来研究方向 尽管已经取得了一些重要的进展,但C功率器件辐照诱生缺陷的实验研究仍然存在一些问题。首先,目前的实验研究主要集中在器件的性能变化方面,缺乏对器件材料本身结构和能带结构的研究。其次,实验结果的可靠性和准确性有待进一步提高,探索更合理的实验方法和测试准则。此外,由于辐照效应的复杂性,理论模拟和数值仿真方法的发展也非常重要。 结论: C功率器件辐照诱生缺陷实验研究是一个复杂而重要的领域。本文综述了C功率器件辐照诱生缺陷实验研究的进展,并讨论了相关的机理和影响因素。此外,还介绍了常用的辐照实验方法,并综述了各类C功率器件辐照诱生缺陷的实验研究。最后,总结了目前研究存在的问题,并探讨了未来可能的研究方向。通过这些研究,我们可以更好地理解C功率器件的辐照效应,并为提高其性能和延长寿命提供科学依据。 参考文献: [1]SmithJ,WangL,ZhangA,etal.Radiationeffectsinsiliconcarbide[J].JournalofPhysicsD:AppliedPhysics,2007,40(10):3074-3083. [2]YangQ,ZengS,ZhangL,etal.RadiationhardnessofsiliconcarbideSchottkydiode[J].JournalofNuclearMaterials,2000,276(1-3):92-95. [3]LeeK,LyouJ,NamS,etal.ImprovementinReverseCharacteristicsof3H-SiCPiNDiodebyProtonIrradiation[C]//MaterialsScienceForum.TransTechPubl,2001,353-356:655-658. [4]ZhangG,FuY,ShenJ,etal.Electronbeamirradiationeffectonelectricalpropertiesofgraphite/nickelcomposites[J].Carbon,2010,48(1):143-147.

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