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一种无线无源声表面波压力传感器及其制备方法
标题：一种无线无源声表面波压力传感器及其制备方法
摘要：
随着智能化、无线化的快速发展，无线无源传感器技术开始得到广泛应用。本论文提出了一种基于声表面波技术的无线无源压力传感器，通过将压力转化为声波信号并利用无源接收器接收和解调该信号，实现了无线传输。本文对该无线无源压力传感器的设计、制备方法进行了详细介绍，并进行了实验验证，结果表明其具有较高的灵敏度和稳定性，具备广泛的应用前景。
关键词：无线无源传感器、声表面波、压力传感器、制备方法
1.引言
随着物联网技术和无线通信技术的快速发展，无线无源传感器技术在各个领域得到了广泛应用。压力传感器作为重要的物理量传感器，具有较高的应用需求。然而，传统的压力传感器存在有线布线的局限性，限制了其在无线环境中的应用。因此，无线无源压力传感器的研究具有重要的意义。
2.原理与设计
声表面波技术是一种常用于无线传感器中的技术，其原理是将物理量转化为声波信号，并通过无源接收器接收和解调该信号。基于声表面波技术的无线无源压力传感器由压电材料、声表面波传感器和无源接收器组成。压力作用在压电材料上时，将会产生应力变化，进而使得压电材料发生相应的电信号变化。该电信号经过声表面波传感器转化为声波信号，并通过无源接收器接收并解调该信号，实现压力传感信息的无线传输。
3.制备方法
3.1制备压电材料
选取具有压电性能的材料，如铁电体材料、聚合物陶瓷材料等，并根据实际需求进行制备和处理，获得具有较高压电性能的压电材料。
3.2制备声表面波传感器
将压电材料铺在衬底上，利用光刻技术制备出声表面波传感器的电极结构。然后进行薄膜沉积和刻蚀工艺，形成声表面波传感器的结构。
3.3制备无源接收器
采用微波集成电路（MMIC）技术，设计和制备无源接收器，实现对声表面波信号的接收和解调。
4.实验与结果
通过实验验证该无线无源压力传感器的性能。实验结果表明，该传感器具有较高的灵敏度和稳定性，能够在不同压力范围内精确测量压力，并实现无线传输。
5.总结与展望
本文提出了一种基于声表面波技术的无线无源压力传感器，并详细介绍了其设计和制备方法。实验结果表明，该传感器具有较高的性能指标，具备广泛的应用前景。然而，对于实际应用中的一些特殊环境和要求，还需要进一步研究和改进。未来的工作可以进一步探索该无线无源压力传感器在不同环境和应用场景下的性能，并进行更加深入的应用研究。
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