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利用晶体生长计算软件FEMAG进行晶体生长计算仿真的结果图FEMAG软件概况FEMAG软件产品应用领域FEMAG-CZ直拉法模拟软件用于新的热场设计,并研发新的方法以满足新的商业需求点,比如:
连续提拉法(CCZ)熔体自由表面上部的氩气流场分布
FEMAG软件拥有国际上最先进、最高效、最全面的晶体生长工艺模拟技术和多物理场耦合仿真功能,可模拟的晶体生长工艺包括提拉法(柴氏法,Cz法)、泡生法(Ky法)、区熔法(FZ法)、坩埚下降法(垂直布里兹曼法,VB法)、物理气相传输法(PVT法)等,广泛应用于集成电路、太阳能光伏、半导体、蓝宝石等领域。
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直拉法晶体生长中的填隙原子和空位的动态预测
直拉法硅晶体生长硼浓度分布预测
ONSemiconductor(安森美半导体)、美国Kayex、Siltronic(世创电子材料)、AXT(美国晶体技术集团)、韩国Nexolon、LG、韩国汉阳大学、Norut(挪威北方研究所)、日本SUMCO集团、Gritek(有研新材料)、天津环欧半导体材料、中环股份、北京有色金属研究总院、清华大学等企业和科研机构,均是FEMAG软件的用户。
FEMAG区熔法软件(FEMAG-FZ)用于模拟区熔法生长工艺(FZ,PFZ)
FEMAG预测区熔法生长晶体缺陷
FEMAG区熔法软件专注于设计新的热场,并研发新的方法以满足新的商业需求点,比如:
FEMAG3D熔体流动模拟结果FEMAG-CZ直拉法模拟软件FEMAG动态模拟
在横向磁场作用下的三维等温线分布
FEMAG-CZ直拉法模拟软件
ONSemiconductor(安森美半导体)、美国Kayex、Siltronic(世创电子材料)、AXT(美国晶体技术集团)、韩国Nexolon、LG、韩国汉阳大学、Norut(挪威北方研究所)、日本SUMCO集团、Gritek(有研新材料)、天津环欧半导体材料、中环股份、北京有色金属研究总院、清华大学等企业和科研机构,均是FEMAG软件的用户。
直拉法晶体生长中的填隙原子和空位的动态预测
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晶体生长熔炉设计与生产
FEMAG定向凝固模拟软件用于设计新的热场,并研发新的方法以满足新的商业需求点,比如:
利用晶体生长计算软件FEMAG进行晶体生长计算仿真的结果图
航空发动机涡轮叶片单晶高温合金生产与研发
定向凝固工艺等温线和界面形状的二维仿真图
直拉法晶体硅生长中的OSF(氧化诱生层错)预测
晶锭半径和沿轴向的电阻率差异减小
FEMAG软件概况
FEMAG软件拥有国际上最先进、最高效、最全面的晶体生长工艺模拟技术和多物理场耦合仿真功能,可模拟的晶体生长工艺包括提拉法(柴氏法,Cz法)、泡生法(Ky法)、区熔法(FZ法)、坩埚下降法(垂直布里兹曼法,VB法)、物理气相传输法(PVT法)等,广泛应用于集成电路、太阳能光伏、半导体、蓝宝石等领域。
太阳能光伏用单晶硅、多晶硅锭生产与研发
连续提拉法(CCZ)熔体自由表面上部的氩气流场分布
FEMAG预测区熔法生长晶体缺陷FEMAG动态模拟直拉法晶体生长中的填隙原子和空位的动态预测直拉法晶体硅生长中的OSF(氧化诱生层错)预测直拉法晶体生长的三维应力分布硅晶体直拉法生长氧含量预测FEMAG-CZ直拉法模拟软件
FEMAG区熔法软件(FEMAG-FZ)用于模拟区熔法生长工艺(FZ,PFZ)
FrançoisDupret于20世纪80年代中期领导开发。
FEMAG定向凝固模拟软件用于设计新的热场,并研发新的方法以满足新的商业需求点,比如:
直拉法晶体硅生长中的OSF(氧化诱生层错)预测
区熔法工艺的等温线预测
直拉法晶体生长中的填隙原子和空位的动态预测
FEMAG软件拥有国际上最先进、最高效、最全面的晶体生长工艺模拟技术和多物理场耦合仿真功能,可模拟的晶体生长工艺包括提拉法(柴氏法,Cz法)、泡生法(Ky法)、区熔法(FZ法)、坩埚下降法(垂直布里兹曼法,VB法)、物理气相传输法(PVT法)等,广泛应用于集成电路、太阳能光伏、半导体、蓝宝石等领域。
利用晶体生长计算软件FEMAG进行晶体生长计算仿真的结果图
FEMAG区熔法软件专注于设计新的热场,并研发新的方法以满足新的商业需求点,比如:
FEMAG预测区熔法生长晶体缺陷
连续提拉法(CCZ)熔体自由表面上部的氩气流场分布
利用晶体生长计算软件FEMAG进行晶体生长计算仿真的结果图连续提拉法(CCZ)温度预测连续提拉法(CCZ)熔体自由表面上部的氩气流场分布在横向磁场作用下的三维熔体流动在横向磁场作用下的三维等温线分布FEMAG-FZ软件FEMAG-FZ区熔法模拟软件FEMAG预测区熔法生长晶体缺陷模拟晶体转速对熔体流动的影响FEMAG-DS软件定向凝固工艺中的三
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