正型感光性树脂组合物及固化图案的制备方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115616858A(43)申请公布日2023.01.17(21)申请号202211180425.6(22)申请日2022.09.27(71)申请人江苏汉拓光学材料有限公司地址221132江苏省徐州市徐州经济技术开发区软件园E1综合楼12A13(72)发明人严珂张硕林欧亚戴俊燕冉瑞成傅志伟(74)专利代理机构上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31313专利代理师张东梅(51)Int.Cl.G03F7/004(2006.01)G03F7/022(2006.01)G03F7/038(2006.01)G03F7/00(2006.01)权利要求书5页说明书15页(54)发明名称正型感光性树脂组合物及固化图案的制备方法(57)摘要本发明属于感光树脂组合物领域，具体公开了一种正型感光树脂组合物及固化图案的制备方法。正型感光树脂组合物包括(A)碱溶性树脂聚合物；(B)交联化合物，所述交联化合物选自第一交联化合物、第二交联化合物和第三交联化合物中的至少两种；和(C)酚类重氮萘醌磺酸酯化物，所述酚类重氮萘醌磺酸酯化物包括第一酚类重氮萘醌磺酸酯化物和第二酚类重氮萘醌磺酸酯化物。固化图案的制备方法为将上述正型感光树脂组合物涂布在基板上，经过烘烤、曝光、显影、固化，得到固化图案。本发明在固化图案的制备过程的曝光后的显影过程中具有良好的显影速率，且显影后暗膜留膜率高、形成完全无开裂的固化图案。CN115616858ACN115616858A权利要求书1/5页1.一种正型感光树脂组合物，其特征在于，包括：(A)碱溶性树脂聚合物；(B)交联化合物，所述交联化合物包括第一交联化合物、第二交联化合物和第三交联化合物中的至少两种；所述第一交联化合物为包含密胺或者甘脲的醚类化合物，所述第二交联化合物为包含苯结构或者脂环烃结构或者氰尿酸结构的环氧基类化合物，所述第三交联化合物为包含烃基结构或者脂环烃结构的乙烯基醚类化合物；和(C)酚类重氮萘醌磺酸酯化物，所述酚类重氮萘醌磺酸酯化物包括第一酚类重氮萘醌磺酸酯化物和第二酚类重氮萘醌磺酸酯化物；所述第一酚类重氮萘醌磺酸酯化物的酯化度为10％～90％，所述第二酚类重氮萘醌磺酸酯化物的酯化度为0或30～90％。2.根据权利要求1所述的正型感光树脂组合物，其特征在于，所述(A)碱溶性树脂聚合物、(B)交联化合物和(C)酚类重氮萘醌磺酸酯化物的质量比为100：(3～15)：(20～35)。3.根据权利要求1所述的正型感光树脂组合物，其特征在于，所述交联化合物还包括以下技术特征中至少一项：a1)所述第一交联化合物选自以下结构通式中的至少一种，其中，式B‑1中，R1、R2、R3和R4各自独立地选自C1～C6的烷基；式B‑2中，R5、R6、R7、R8、R9和R10各自独立地选自C1～C6的烷基；a2)所述第二交联化合物选自以下结构通式中的至少一种，其中，式B‑3中，R11和R12各自独立的选自氢原子或C1～C6的烷基；式B‑4中，M为C5～C7的环烃基；式B‑5中，R13、R14和R15各自独立地选自环氧基结构或C1～C6的烷基，且R13、R14和R15中至少一个为环氧基结构；a3)所述第三交联化合物选自以下结构通式中的至少一种，2CN115616858A权利要求书2/5页其中式B‑6中，R16选自C1～C6的亚烃基，1≦m≦5；式B‑7中，N为C5～C10的环烃基。4.根据权利要求3所述的正型感光树脂组合物，其特征在于，所述交联化合物还包括以下技术特征中至少一项：b1)所述第一交联化合物具体选自以下结构中的至少一种b2)所述第二交联化合物具体选自以下结构中的至少一种b3)所述第三交联化合物具体选自以下结构中的至少一种3CN115616858A权利要求书3/5页5.根据权利要求1所述的正型感光树脂组合物，所述酚类重氮萘醌磺酸酯化物还包括以下技术特征的至少一项：c1)所述第一酚类重氮萘醌磺酸酯化物为酚醛树脂与2,1,4‑重氮萘醌磺酰氯的酯化物，所述酚醛树脂为选自以下苯酚结构中的一种或几种的聚合物，其中a、b、c、d均为大于等于3小于等于10的正整数，虚线表示结合键；c2)所述第二酚类重氮萘醌磺酸酯化物为α,α,α'’‑三(4‑羟苯基)‑1‑乙基‑4‑异丙苯与2,1,5‑重氮萘醌磺酰氯的酯化物。6.根据权利要求1所述的正型感光树脂组合物，其特征在于，所述碱溶性树脂聚合物选自以下结构通式，其中，所述X1选自含苯环结构和含硅氧烷结构中的至少一种，Y1选自含苯环结构和含聚醚结构中至少一种；所述R15和R16分别独立的选自氢原子、C1～C6烷基和缩醛结构中的一种；所述0≦p≦2，0≦q≦2，且p+q>0。7.根据权利要求6所述的正型感光树脂组合物，其特征在于，其特征在于，所述碱