显影装置及其显影方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112859548A(43)申请公布日2021.05.28(21)申请号201911179254.3(22)申请日2019.11.27(71)申请人长鑫存储技术有限公司地址230000安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室(72)发明人张强应战(74)专利代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司44224代理人黄丽(51)Int.Cl.G03F7/30(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图8页(54)发明名称显影装置及其显影方法(57)摘要本发明涉及一种显影装置及其显影方法，所述显影装置包括晶圆载台、喷涂模块和第一旋转电机，所述晶圆载台用于承载待显影的晶圆，并带动所述晶圆转动；所述喷涂模块包括液体涂布单元和气体吹扫单元；所述第一旋转电机的旋转轴与所述气体吹扫单元固定连接，用于带动所述气体吹扫单元转动，所述第一旋转电机的转动方向包括顺时针方向和逆时针方向。通过改变所述第一旋转电机的转动方向，可以使所述晶圆载台和气体吹扫单元相对反向转动，从而实现比一个旋转电机更快的相对旋转角速度，对晶圆表面进行更快的吹扫，避免了晶圆表面部分区域由于吹扫速度过慢，液体挥发导致的水渍缺陷或固体残留的问题。CN112859548ACN112859548A权利要求书1/1页1.一种显影装置，其特征在于，所述显影装置包括：晶圆载台，用于承载待显影的晶圆，并带动所述晶圆转动；喷涂模块，包括液体涂布单元和气体吹扫单元，所述液体涂布单元用于在晶圆表面涂布液体，所述气体吹扫单元用于去除晶圆表面的液体和固体；第一旋转电机，所述第一旋转电机的旋转轴与所述气体吹扫单元固定连接，用于带动所述气体吹扫单元转动，所述第一旋转电机的转动方向包括顺时针方向和逆时针方向。2.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述气体吹扫单元包括至少两个气体喷管，所述至少两个气体喷管形成一端固定另一端张开的爪形结构，所述气体喷管的固定端与第一旋转电机的旋转轴固定连接。3.根据权利要求2所述的显影装置，其特征在于，所述气体喷管的中部设有伸缩件，用于调节所述气体喷管的工作长度。4.根据权利要求3所述的显影装置，其特征在于，所述气体吹扫单元还包括喷管连接件，所述喷管连接件包括：固定部，所述固定部的一端与所述第一旋转电机的旋转轴连接，另一端与所述气体喷管的固定端连接；旋转臂，所述旋转臂与气体喷管一一对应，所述旋转臂的一端与所述固定部连接，另一端与相应的所述气体喷管活动连接。5.根据权利要求4所述的显影装置，其特征在于，所述旋转臂与气体喷管连接的一端设有弹性固定环，所述气体喷管穿过弹性固定环与所述旋转臂活动连接。6.根据权利要求4所述的显影装置，其特征在于，所述第一旋转电机和固定部的内部设有气体管路，用于连通所述气体喷管和气源。7.根据权利要求4所述的显影装置，其特征在于，所述气体吹扫单元还包括：第二旋转电机，所述第二旋转电机与气体喷管一一对应，所述第二旋转电机的外壳与所述旋转臂固定连接；传动件，与所述第二旋转电机的旋转轴固定连接，所述传动件为圆柱形，所述传动件的弧面与相应的气体喷管贴合设置，用于控制所述气体喷管的伸缩件延伸和收缩。8.根据权利要求7所述的显影装置，其特征在于，所述传动件的弧面上均匀设有多个第一齿状凸起；所述气体喷管靠近所述传动件的表面上均匀设有多个第二齿状凸起，所述第二齿状凸起与第一齿状凸起相互啮合形成同步转动。9.根据权利要求2所述的显影装置，其特征在于，所述气体吹扫单元还包括中心喷管，所述中心喷管垂直朝向所述晶圆载台。10.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述液体涂布单元设有多个液体喷口，用于喷涂不同的液体。11.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述晶圆载台包括第三旋转电机，用于带动所述晶圆转动。12.一种显影方法，包括：提供一已曝光晶圆，调节气体喷管至与所述晶圆匹配的长度；在所述晶圆表面旋涂显影液；吹扫所述晶圆，以去除晶圆表面的全部显影液。2CN112859548A说明书1/6页显影装置及其显影方法技术领域[0001]本发明涉及光刻技术领域，特别是涉及一种显影装置及其显影方法。背景技术[0002]光刻是半导体器件制造中必不可少的一道工艺制程，尤其是随着特征尺寸越来越小，对光刻的要求也越来越高。在晶圆表面涂布光刻胶并进行曝光后，需要通过显影去除部分光刻胶，以形成晶圆表面部分露出、部分遮盖的光刻胶图形，传统工艺中常用整盒晶圆浸没式的显影方法进行显影，但是显影液中的有效成分会随着显影次数不断减少，因此需要不断调节显影参数并更换显影液，操作较为繁复。[0003]而且在对晶圆进行显影后，需要对晶圆表面进行吹扫以去除残留的液体，并在液体的带动下将残留的固体吹离晶圆表面，但