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SiC复合基板(10)具备SiC单晶层(20)和含有稀土的SiC层(30)。含有稀土的SiC层(30)含有稀土元素,该稀土元素的浓度在1×1016原子/cm3以上且1×1019原子/cm3以下的范围内。由于将稀土元素的浓度设定在该范围内,因此能够充分地降低在含有稀土的SiC层(30)上生长的SiC外延层的BPD密度。
雨巷****轶丽
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