化学气相沉积炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN104342631104342631A(43)申请公布日2015.02.11(21)申请号201310314093.0(22)申请日2013.07.24(71)申请人广东先导稀材股份有限公司地址511500广东省清远市清新县禾云镇工业区（鱼坝公路旁）(72)发明人朱刘朱巨才于金凤吴伟平陈松李钦(74)专利代理机构北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙)11387代理人张向琨刘春成(51)Int.Cl.C23C16/00(2006.01)C23C16/44(2006.01)权权利要求书2页利要求书2页说明书5页说明书5页附图2页附图2页(54)发明名称化学气相沉积炉(57)摘要本发明提供了一种化学气相沉积炉，其包括：炉体；上炉盖，设置在炉体上部，与炉体密封且可拆装式固定连接；下炉盖，设置在炉体下部，与炉体密封可拆装式固定连接；以及下炉盖升降机构，与下炉盖固定连接，以使下炉盖在脱开固定的炉体后带动下炉盖降落以进行下出料、以及带动出料后的下炉盖上升以与炉体结合。所述化学气相沉积炉还可包括：前后推送机构，设置于下炉盖的正下方，前后推送机构使下炉盖升降机构带动下降的下炉盖落在其上并前后移动到至外围，以进行出装料。炉体、上炉盖、下炉盖均可采用水冷夹层、保温层。由此，能够避免在反复拆装的过程中炉体的相互错位；出装料安全、可靠，操作方便；炉内的热场稳定并提高了高温工作安全性。CN104342631ACN104326ACN104342631A权利要求书1/2页1.一种化学气相沉积炉，包括：炉体（1）；上炉盖（2），设置在炉体（1）上部，与炉体（1）密封且可拆装式固定连接；以及下炉盖（3），设置在炉体（1）下部，与炉体（1）密封可拆装式固定连接；其特征在于，所述化学气相沉积炉还包括：下炉盖升降机构（5），与下炉盖（3）固定连接，以使下炉盖（3）在脱开固定的炉体（1）后带动下炉盖（3）降落以进行下出料、以及带动出料后的下炉盖（3）上升以与炉体（1）结合。2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，炉体（1）包括炉体壳（11）、水冷夹层（12）、保温层（13）、保温层固定壳（14）；上炉盖（2）包括上炉盖壳（22）、水冷夹层（23）、保温层（24）、保温层固定壳（25）；以及下炉盖（3）包括下炉盖壳（31）、水冷夹层（32）、保温层（33）、保温层固定壳（34）。3.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，下炉盖（3）与炉体（1）之间的可拆装式固定连接采用液压夹具（7）实现。4.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述化学气相沉积炉还包括支撑架（4），支撑架（4）包括：两个侧支架（41），设置于炉体（1）相反两侧，各侧支架（41）包括：一横梁（411）：以及至少两个立柱（412），固定连接于该横梁（411）；以及两个连接梁（42），连接在两个侧支架（41）的横梁（411）之间；其中，两个侧支架（41）的横梁（411）和两个连接梁（42）形成上支架；下炉盖升降机构（5）包括：驱动器（51），设置于所述上支架；至少两个滚珠丝杆（52）；至少两个导块（53），各导块（53）使相应的滚珠丝杆（52）穿设且与相应的丝杆螺母固定连接以与滚珠丝杆（52）形成传动连接，各导块（53）固定连接于下炉盖（3）；至少两个十字换向器（54），设置在所述上支架上，连接驱动器（51）和相应滚珠丝杆（52）的一端；至少两个固定架（55），固定连接于相应滚珠丝杆（52）的另一端；以及至少两个连杆（56），设置在所述上支架上且连接驱动器（51）、相应的十字换向器（54），以及相应的滚珠丝杆（52）。5.根据权利要求4所述的化学气相沉积炉，其特征在于，下炉盖升降机构（5）还包括：减速机（57），与驱动器（51）连接，以调整驱动器（51）的输出；以及换向器（59），设置于所述上支架上且与减速机（57）连接，并与对应的连杆（56）连接。6.根据权利要求4所述的化学气相沉积炉，其特征在于，下炉盖升降机构（5）还包括导向机构（58），导向机构（58）包括：导轨（581），设置在对应的立柱（42）上；以及滑块（582），设置在对应的导轨（581）上并与该对应的导轨（581）滑动连接、且与对应的导块（53）固定连接。7.根据权利要求4所述的化学气相沉积炉，其特征在于，炉体（1）分为上加热区和下加热区，以便于控制不同部位的温度，各加热区设有三个加热器（15），各加热区的三个加热器（15）以等分360度圆布置。2CN104342631A权利要求书2/2页8.根据权利要求7所述的化学气相沉积炉，其特征在于，各加热器（15）连接两个水冷电极（16），水冷电极（16）为水冷铜电极