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本科毕业论文

题目：智能化扩散硅压力传感
变送器的研制
院（部）：信息与电气工程学院
专业：电气工程与自动化
班级：电本062
姓名：李素粉
学号：
指导教师：李红民
完成日期：2010年6月12日

目录
TOC\o"1-3"\h\z\uHYPERLINK\l"_Toc"摘要 PAGEREF_Toc\hIII
HYPERLINK\l"_Toc"Abstract PAGEREF_Toc\hIV
HYPERLINK\l"_Toc"1前言 PAGEREF_Toc\h1
HYPERLINK\l"_Toc"压力传感器的国内外发展现状 PAGEREF_Toc\h1
压阻式压力传感器简介 2
HYPERLINK\l"_Toc"压阻式压力传感器的结构 PAGEREF_Toc\h2
HYPERLINK\l"_Toc"压阻式压力传感器的发展 PAGEREF_Toc\h2
HYPERLINK\l"_Toc"扩散硅压力传感器的应用 PAGEREF_Toc\h3
HYPERLINK\l"_Toc"扩散硅压力传感器的特点 PAGEREF_Toc\h4
HYPERLINK\l"_Toc"扩散硅压力传感器的发展趋势 PAGEREF_Toc\h5
HYPERLINK\l"_Toc"本课题所完成的任务 PAGEREF_Toc\h6
HYPERLINK\l"_Toc"2扩散硅压力传感变送器的原理 PAGEREF_Toc\h7
HYPERLINK\l"_Toc"压阻式压力传感器的机械原理 PAGEREF_Toc\h7
HYPERLINK\l"_Toc"压阻式压力传感器的工作原理 PAGEREF_Toc\h8
HYPERLINK\l"_Toc"3扩散硅压力传感器的温度补偿原理 PAGEREF_Toc\h9
HYPERLINK\l"_Toc"对扩散硅压力传感器进行温度补偿的意义 PAGEREF_Toc\h9
HYPERLINK\l"_Toc"零点温度漂移及其补偿 PAGEREF_Toc\h10
HYPERLINK\l"_Toc"零点温度漂移产生的原因 PAGEREF_Toc\h10
零点温度漂移的补偿 10
HYPERLINK\l"_Toc"灵敏度温度系数及其补偿 PAGEREF_Toc\h14
HYPERLINK\l"_Toc"灵敏度漂移产生的原因 PAGEREF_Toc\h14
HYPERLINK\l"_Toc"灵敏度漂移补偿措施 PAGEREF_Toc\h14
HYPERLINK\l"_Toc"零位温度系数及其补偿 PAGEREF_Toc\h14
HYPERLINK\l"_Toc"4扩散硅压力变送器整体方案设计与计算 PAGEREF_Toc\h17
HYPERLINK\l"_Toc" PAGEREF_Toc\h17
HYPERLINK\l"_Toc"传感器供电电路 PAGEREF_Toc\h17
HYPERLINK\l"_Toc"信号处理供电电路 PAGEREF_Toc\h20
HYPERLINK\l"_Toc"信号处理电路 PAGEREF_Toc\h21
HYPERLINK\l"_Toc"电路工作原理 PAGEREF_Toc\h22
HYPERLINK\l"_Toc"滤波电路设计 PAGEREF_Toc\h24
HYPERLINK\l"_Toc"调零和调满电路设计 PAGEREF_Toc\h25
HYPERLINK\l"_Toc"电压电流转换 PAGEREF_Toc\h26
HYPERLINK\l"_Toc"两线制输出 27
整机测量与误差分析 27
HYPERLINK\l"_Toc"5MPU最小系统及数据采集通信系统设计 33
HYPERLINK\l"_Toc"系统硬件设计 33
HYPERLINK\l"_Toc"系统软件设计 PAGEREF_Toc\h37
HYPERLINK\l"_Toc"6总结 39
HYPERLINK\l"_Toc"谢辞 41
HYPERLINK\l"_Toc"参考文献 42
HYPERLINK\l"_Toc"附录 43
摘要

本文介绍了智能化扩散硅压力传感变送器的研制。智能压力传感变送器的核心部件--压力传感器是利用单晶硅的压阻效应（集压力敏感转换于一体），在单晶硅膜片上扩