CMOS工艺流程讲解.pptx

WaferFabrication
Process
TechnologyContentCMOSCMOSCMOSCMOS0.18umProcessCrosssection0.18umProcessCrosssection0.18umProcessCrosssection0.18umProcessCrosssection0.18umProcessCrosssection0.18umProcessCrosssection0.18umProcessCrosssection0.18umProcessCrosssection0.18umProcessCrosssection0.18umProcessCrosssection0.18umProcessCrosssection0.18umProcessCrosssection0.18umProcessCrosssectionPCMPCM--PurposePCM–keyitemsPCM–TestLocationPCM—MOSTransistorPCM–VtmeasureGrowFieldOxide
UVExposure
(HighRs)
2022/10/2522:56:4822:56:4825October2022
13、不知香积寺，数里入云峰。
TransistorFabrication
(P+implant)
RemoveDrive-InOxide
DepositResist
siliconsubstrate
siliconsubstrate
UVExposure
NLDD114mask
PCM–keyitems
14、他乡生白发，旧国见青山。PCM–LeakagemeasurePCM–I-VcurvePCM–InterPolyCapacitorPCM–PolyRsPCM–NWRsPCM–N+RsPCM–P+RsPCM–P+/NWPCM–N+/PsubRemoveResist
EtchMetal2
UVExposure
EtchNitride
PCM–Leakagemeasure
PlanarizationEtchback
DepositResist
08:41:1708:41:1708:4110/26/20228:41:17AM
DepositResist
12、世间成事，不求其绝对圆满，留一份不足，可得无限完美。
siliconsubstrate
P-pocket/PLDDimp
10月-2208:41:1708:41Oct-2226-Oct-22
DevelopResist
2022/10/268:41:1708:41:1726October2022
TransistorFabricationPCM--VPNPThanks!9、静夜四无邻，荒居旧业贫。。11月-2411月-24Friday,November22,2024
10、雨中黄叶树，灯下白头人。。05:50:3605:50:3605:5011/22/20245:50:36AM
11、以我独沈久，愧君相见频。。11月-2405:50:3605:50Nov-2422-Nov-24
12、故人江海别，几度隔山川。。05:50:3605:50:3605:50Friday,November22,2024
13、乍见翻疑梦，相悲各问年。。11月-2411月-2405:50:3605:50:36November22,2024
14、他乡生白发，旧国见青山。。22十一月2024上午5时50分36秒05:50:3611月-24
15、比不了得就不比，得不到的就不要。。。十一月24上午5时50分11月-2405:50November22,2024
16、行动出成果，工作出财富。。2024年11月22日星期五5时50分36秒05:50:3622November2024
17、做前，能够环视四周；做时，你只能或者最好沿着以脚为起点的射线向前。。上午5时50分36秒上午5时50分05:50:3611月-24
9、没有失败，只有暂时停止成功！。11月-2411月-24Friday,November22,2024
10、很多事情努力了未必有结果，但是不努力却什么改变也没有。。05:50:3605:50:3605:5011/22/20245:50:36AM
11、成功就是日复一日那一点点小小努力的积累。。11月-2405:50:3605:50Nov-2422-Nov-24
12、世间成事，不求其绝对圆满，留一份不足，可得无限完美。。05:50:3605:50:3605:50Friday,November22,2024
13、不知香积寺，数里入云峰。。11月-2411月-2405:50:3605:50:36November22,2024
14、意志坚强的人能把世界