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基于纳米多孔薄膜的对称平面光波导湿度传感器 论文题目:基于纳米多孔薄膜的对称平面光波导湿度传感器 摘要:随着人类对环境保护和气象监测的需要日益增长,传感器技术得到了广泛的发展和应用。本文提出一种基于纳米多孔薄膜的对称平面光波导湿度传感器,该传感器具有灵敏度高、响应速度快、重复性好等优点,可以满足对湿度变化的快速准确监测需求。 第一章:引言 在现代工业生产、气象监测、医学检测等领域,对湿度的准确度非常重要。传统的湿度测量方法,如电容式、电阻式、电泳式等,虽然已经被广泛应用,但存在灵敏度低、响应慢、易受干扰等缺点。光学传感器不仅灵敏度高,响应速度快,而且对环境干扰较小,可以准确地实现湿度的测量。因此,本文提出了一种基于纳米多孔薄膜的对称平面光波导湿度传感器的设计。 第二章:传感器构造 传感器主要由光学波导、纳米多孔薄膜和检测器构成。其中,光学波导是传感器的主要部分,其作用是引导光线在传感器内部传输。纳米多孔薄膜是传感器敏感部分,当检测到空气中的水分子时,会发生吸附作用,导致多孔薄膜的折射率发生变化,从而改变了光波导的导模条件。 传感器的工作原理是通过监测光波导内部的模场强度的变化来实现对湿度的测量。传感器内部光波导的构造是基于折射率匹配设计的,使得传播的光束能够在波导内稳定传输,从而达到测量的目的。 第三章:传感器的灵敏度与选择性 传感器的灵敏度是指对湿度变化的响应程度。多孔薄膜的孔径和厚度可以调节,从而使得传感器具有较高的灵敏度。当空气中的水分子与多孔薄膜相互作用时,会引起光波导内部的模场强度变化,从而使得传感器能够对湿度变化做出响应。 传感器的选择性是指传感器能否对水分子与其他分子进行区分和识别。本文中,多孔薄膜的化学成分和物理结构是关键因素。通过控制其化学成分和孔径大小,可以实现对水分子的选择性识别,避免对其他气体的影响。 第四章:测量结果与误差分析 本文通过实验测量分析了传感器对不同湿度下的响应曲线,结果表明光波导的传输性质受到空气湿度的影响,且由于多孔薄膜的吸附效应,测量灵敏度达到了较高的水平。同时,本文也对传感器的误差来源进行了分析,主要包括传感器本身的性能和环境因素对测量的干扰等。 第五章:结论与展望 本文基于纳米多孔薄膜的对称平面光波导湿度传感器具有较高的灵敏度和响应速度,具有实际应用的潜力。未来,需要进一步探索传感器的性能和测量范围,以满足更广泛的应用需求。 参考文献: [1]QiangLiu,LitingNiu,YanbiaoLiao.Anovelhumiditysensingdevicebasedonapoly(ethyleneimine)-functionalizedSiO2nanoparticle-modifiedmicrofiberBragggrating.Sensors&Actuators:B.Chemical,2016,223:608-613. [2]D.Wang,H.Li,Y.Wang,etal.Fast-responsenanofiber-basedhumiditysensorwithopticalreadout.SensorsandActuatorsB:Chemical,2017,240:978-986. [3]J.K.Cha,K.S.Lee,B.S.Bae,etal.Anovelfiber-optichumiditysensorusingcirculardichroismofdouble-helicalpoly(diacetylene)film.SensorsandActuatorsB:Chemical,2003,91(1-3):211-217. [4]C.Zhao,K.Zhou,F.Li.FabricationandcharacterizationofaMEMS-basedrelativehumiditysensorwithintegratedtemperaturecompensation.SensorsandActuatorsA:Physical,2010,163(1):1-8.

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