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光栅和激光位移测量技术一、光栅式传感器长光栅---直线位移；圆光栅---角位移莫尔条纹特性：(3)圆光栅传感器①径向光栅的圆弧形莫尔条纹②切向光栅的环形莫尔条纹(4)光栅传感器特点二、激光干涉测量系统双频激光干涉系统双频激光干涉测量系统三、激光测距系统原理：Keyence激光测距传感器应用：厚度测量：测量范围：16mm左右；相对测量精度：0.1%~0.2%
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