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Ｘ射线光电子能谱数据处理及分峰步骤Region120045301248102550XPSAlK-alpha1486.600000FAT301E+374.45300000N1sN1s-1KineticEnergyeV1072.60.051N1sN1s-1KineticEnergyeV1072.60.051Countspulsecounting0.16000004012202.524127.082458.362559.722523.562553.482509.86、X轴：点A(X)，再点右键，然后点setcolumnvalues，出现一个对话框，在from中填1，在to中填401(通道数)，在col(A)中填BE始-0.05*(i-1)，或直接填1486.6-KE始--0.05*(i-1)，最后点doit。
7、此时即可以作出N1s谱图。
8、画出来的图有可能有一些尖峰，那是脉冲，应把它们去掉，方法为点Data-MoveDataPoints，然后按键盘上的
或箭头去除脉冲。二、分峰步骤2、打开XPSPeak，引入数据：点Data----Import(ASCII)，引入所存数据，则出现相应的XPS谱图。3、选择本底：点Background，因软件问题，HighBE和LowBE的位置最好不改，否则无法再回到Origin，此时本底将连接这两点，Type可据实际情况选择，一般选择Shirley类型。4、加峰：
点Addpeak，出现小框，在PeakType处选择s、p、d、f等峰类型（一般选s），在Position处选择希望的峰位，需固定时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。各项中的constraints可用来固定此峰与另一峰的关系，如Pt4f7/2和Pt4f5/2的峰位间距可固定为3.45，峰面积比可固定为4:3等。点Deletepeak可去掉此峰。然后再点Addpeak选第二个峰，如此重复。5、拟合：选好所需拟合的峰个数及大致参数后，点Optimiseregion进行拟合，观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可以多次点Optimiseregion。7、点SaveXPS存图，下回要打开时点OpenXPS就可以打开这副图继续进行处理。8、数据输出：
点Data――Printwithpeakparameters可打印带各峰参数的谱图，通过峰面积可计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。
点Data――Exporttoclipboard，则将图和数据都复制到了剪贴板上，打开文档（如Word文档），点粘贴，就把图和数据粘贴过去了。
点Data――Export（spectrum），则将拟合好的数据存盘，然后在Origin中从多列数据栏打开，则可得多列数据，并在Origin中作出拟合后的图。将拟合好的数据重新引回到Origin: