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55nmSONOS闪存单元的1f噪声特性研究 随着智能手机、平板电脑、电子书等便携设备的普及,内置存储器的需求越来越大。而SONOS(Silicon-Oxide-Nitride-Oxide-Silicon)闪存是一种非挥发存储器,常用于内置存储器和小型U盘中。在当前的市场上,SONOS闪存单元被认为是一种广泛使用的具有良好稳定性和高可靠性的存储器单元,非常适用于手机、平板电脑等便携设备。 然而,随着工艺的提升,存储器单元的尺寸变得越来越小,闪存单元的存储电荷量也越来越少,这就使得噪声问题变得越来越重要。噪声问题主要是由单元内部的杂散噪声、器件之间的干扰噪声和外界的电磁噪声等多种因素共同导致的。在这篇文章中,我们将探讨55nmSONOS闪存单元1f噪声特性的研究,其中1f指的是1/f噪声。 1.SONOS闪存单元简介 SONOS闪存单元采用了一种新型的介电质隧道结构,由于该结构具有强大的局域场效应和可控的非平衡载流子注入能力,因此具有优异的电子擦除性能和良好的可靠性。在基于CMOS工艺的SONOS闪存存储器单元中,非平衡载流子注入和器件隧穿激活是实现存储和擦除信息的两个重要机制,因此需要细致地设计和优化。 2.1/f噪声 1/f噪声指从由低频到高频逐渐衰减的频谱分布,其功率随频率的对数逐渐减小。该噪声是一种非常普遍的噪声,在自然界和人造系统中都会出现,例如电子器件、音频信号和视觉图像等。1/f噪声出现在存储器单元中,会引起干扰,影响存储器单元的可靠性和性能。 3.55nmSONOS闪存单元的1f噪声特性研究 针对55nmSONOS闪存单元的1f噪声特性,许多学者进行了相关研究。下面将介绍一些有代表性的研究成果。 以2020年发表在IEEETransactionsonDeviceandMaterialsReliability上的文章《ImpactofPhysicalWeakeningon1/fNoiseinSONOSFlashMemoryDevices》为例。该文研究了物理松弛对SONOS闪存单元的1/f噪声特性的影响。由于器件的工作参数受到材料内部的结构和应力分布的影响,器件此时的噪声也受到影响。该文通过对SONOS闪存单元进行应力松弛实验,发现器件中的噪声密度发生了显著的变化。器件内部的能带结构也发生了变化,因此对1/f噪声的谱密度有很大的影响。该研究结果可以为SONOS闪存单元的噪声优化提供实验依据。 此外,还有许多研究者通过改变擦除和写入次数、调整偏置电压和改变器件结构等多种方法来研究1/f噪声。这些研究成果可以为SONOS闪存单元的制造提供参考。 4.结论 总之,我们可以看到,1/f噪声对于SONOS闪存单元的性能影响巨大。因此,前沿的研究致力于探讨1/f噪声的来源和优化方法。目前的研究主要集中在优化器件结构、提高制造工艺和加强负载控制等方面。随着技术的不断发展,我们相信,闪存存储器单元的可靠性和性能将得到进一步的提升。

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