扫描电子显微镜SEM和能谱分析技术EDS.ppt

扫描电子显微镜和能谱分析技术

(ScanningElectronMicroscopy
/EnergyDispersiveSpectrometer)

（SEM/EDS）

安泰科技研发中心
郭金花

主要内容1扫描电镜的作用：2扫描电镜的工作原理样品表面激发的电子信号二次电子、背散射电子和特征X射线背反射电子：产生范围在100nm-1μm深度
能量较高，小于和等于入射电子能量E03扫描电镜的主要构造收集二次电子时，为了提高收集有效立体角，常在收集器前端栅网上加上+250V偏压，使离开样品的二次电子走弯曲轨道，到达收集器。这样就提高了收集效率。

收集背散射电子时，背散射电子仍沿出射直线方向运动，收集器只能收集直接沿直线到达栅网上的那些电子。4扫描电镜对样品的作用－－
加速电压、电子束与样品之间的关系4扫描电镜对样品的作用－－二次电子与背散射电子之间的区别二次电子图像VS.4扫描电镜对样品的作用－－物镜光栏、工作距离与样品之间的关系工作距离的影响5能谱仪（EDS）的工作原理6能谱仪（EDS）的结构优点1）快速并且可以同时探测不同能量的X-光能谱2）接受信号的角度大。3）仪器设计较为简单4）操作简单8仪器功能介绍及应用SEM/EDS的主要性能指标JEOL-6380/SEM的工作界面颗粒薄膜及涂层材料昆虫ElementEDAX-EDS的工作界面---区域分析ElementEDAX-EDS的工作界面---面扫描面扫描实例-Cu网线扫描实例-Cu网9电镜样品的制备
(3)粉末样品的制备：
导电胶－－粘牢粉末－－吸耳球－－观察
悬浮液－－滴在样品座上－－溶液挥发－－观察

(4)不导电样品：
通常对不导电样品进行喷金、喷碳处理或使用导电胶
形貌观察：喷金处理
成分分析：喷碳处理

a显露出所欲分析的位置b不得有松懈的粉末或碎屑c需耐热，不得有熔融蒸发的现象d不能含有液状或胶状物质，以免挥发e非导体表面需镀金或镀碳f磁性材料会影响聚焦，成像效果不好

谢谢!