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电磁驱动微运动什么是电磁驱动？磨床圆形强力电磁吸盘工作台电感传感器的信号采集电路和基于AD698的电感传感器信号调理电路电磁微运动的实现方法运动范围运动精度精度，稳定速度和气隙的关系电流变化速度I/A和气隙d变化量之间的关系如图5-30。在1um~10mm之间，精度K为0.0um~10um。为提高精度，应采取较高的电流变化精度。参考文献
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