一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105742145A(43)申请公布日2016.07.06(21)申请号201610187670.8H01J37/244(2006.01)(22)申请日2014.07.18(62)分案原申请数据201410345490.92014.07.18(71)申请人镇江乐华电子科技有限公司地址212415江苏省句容市宝华仙林东路16号双创大厦509室(72)发明人王义林张大梁周向志(74)专利代理机构杭州裕阳专利事务所(普通合伙)33221代理人应圣义(51)Int.Cl.H01J37/26(2006.01)H01J37/28(2006.01)H01J37/22(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图3页(54)发明名称一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构(57)摘要本发明公开了一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，属于透射电子显微镜的附件结构设计领域，该集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构通过在镜筒的侧部接口上安装调整部件，并在位于镜筒内部的调整部件上集成安装TEM荧光屏和STEM探测器，使得只需要改变调整部件在透射电子显微镜镜筒中的位置，便能够实现TEM荧光屏或者STEM探测器来接收电子束，从而满足镜筒的一个侧部接口同时安装CCD相机用荧光屏(TEM荧光屏)和STEM探测器的目的，进而满足用户对于透射电子显微镜的功能最大化的需求，实现超值的性价比。CN105742145ACN105742145A权利要求书1/1页1.一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，其特征在于，包括：具有侧部接口的镜筒和通过所述侧部接口安装在所述镜筒上的调整部件，所述调整部件的正视面形状为直角梯形，所述调整部件的一部分位于所述镜筒内部；所述调整部件的正视面的上底与位于所述镜筒内部的所述调整部件的正视面的腰之间的夹角为135°；位于所述镜筒内部的调整部件上集成有TEM荧光屏和STEM探测器；所述TEM荧光屏安装于位于所述镜筒内部的所述调整部件的正视面的腰面上，所述STEM探测器安装于位于所述镜筒内部的所述调整部件构的正视面的上底面上或下底面上。2.如权利要求1所述的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，其特征在于，所述调整部件为滑动机构。3.如权利要求2所述的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，其特征在于，所述滑动机构的正视面为直角的一端位于所述镜筒的外部。4.如权利要求2所述的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，其特征在于，所述TEM荧光屏安装于位于所述镜筒内部的所述滑动机构的正视面的腰面上，所述STEM探测器安装于位于所述镜筒内部的所述滑动机构的正视面的上底面上。5.如权利要求1所述的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，其特征在于，所述调整部件为翻转机构。6.如权利要求5所述的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，其特征在于，所述翻转机构的正视面为直角的一端位于所述镜筒的外部。7.如权利要求5所述的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，其特征在于，所述TEM荧光屏安装于位于所述镜筒内部的所述翻转机构的正视面的腰面上，所述STEM探测器安装于位于所述镜筒内部的所述翻转机构的正视面的下底面上。2CN105742145A说明书1/5页一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构[0001]本申请为申请号201410345490.9、申请日2014年7月18日、发明名称“一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构”的分案申请。技术领域[0002]本发明涉及透射电子显微镜的附件结构设计，尤其涉及一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构。背景技术[0003]透射电子显微镜TransmissionElectronMicroscope，简称TEM，透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透射聚焦成像的一种高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。[0004]针对透射电子显微镜使用过程中拍摄高分辨电子显微图像，拍摄电子衍射以及对样品进行原位分析等不同应用目的使得所使用的CCD相机类型均不同，所以，在一台透射电子显微镜上配备单一CCD相机配置难以满足需要。为解决上述问题，现有的方案是在透射电子显微镜上安装底插式CCD相机和侧插式CCD相机，底插式CCD相机和侧插式CCD相机分别安装在透射电子显微镜的的底片室底部和镜筒侧部。[0005]扫描透射电子显微镜ScanningTransmissionElectronMicroscope，简称STEM，其是利用磁透镜将电子束聚焦到样品表面并在样品表面快速扫描，通过电子穿透样品成像。在扫描模式下，电子源发射出电子，通过在样品前磁透镜将电子束