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Plasma工作原理介紹工作原理檢驗方法-----PullandSheartest檢驗方法-----PullandSheartest檢驗方法-----PullandSheartestPlasma机构原理圖Plasma產生的條件O2PlasmaArPlasmaPlasmaProcess:PlasmaParameter(Pc32系列)表面活化目前使用的Ar的成份Ar的純度與清洗的效果NormalizedEnergyDistribution實際應用實際應用Plasma參數﹕0.2torrpressure;75wattspower;113lpmvacuum.未經Plasma結果結論:目前HYBIRD所使用PLASMA:
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