2022227695767一种双面套刻光刻机的对准装置.pdf

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN218825147U
(45)授权公告日2023.04.07
(21)申请号202222769576.7
(22)申请日2022.10.20
(73)专利权人苏州中特微电子科技有限公司
地址215000江苏省苏州市吴江区江陵街
道交通路1188号
(72)发明人傅舰艇林世超邓嘉乐
(74)专利代理机构苏州汇智联科知识产权代理
有限公司32535
专利代理师李秀娟
(51)Int.Cl.
G03F7/20(2006.01)
G03F9/00(2006.01)

权利要求书1页说明书3页附图3页
(54)实用新型名称
一种双面套刻光刻机的对准装置
(57)摘要
本实用新型公开了一种双面套刻光刻机的
对准装置，涉及光刻机对准装置技术领域，本实
用新型包括底座以及移动夹持组件，底座内开设
有安装槽，安装槽的顶部中心位置开设有滑槽，
移动夹持组件设置在滑槽内；移动夹持组件包括
电动伸缩杆、安装杆、转轴、安装块、丝杆、夹持片
以及校准灯，电动伸缩杆固定设置在安装槽内的
相对两侧，电动伸缩杆的输出端分别与安装杆的
端部固定连接，安装杆的顶部中心位置固定设置
有转轴。本实用新型为一种双面套刻光刻机的对
准装置，通过设置电动伸缩杆、安装杆、转轴、安
装块、丝杆、夹持片以及校准灯，对准操作方便快
速，物镜移动方便，提高了装置的对准效率。
CN218825147U
CN218825147U权利要求书1/1页

1.一种双面套刻光刻机的对准装置，其特征在于：包括底座(1)以及移动夹持组件，所
述底座(1)内开设有安装槽(2)，所述安装槽(2)的顶部中心位置开设有滑槽(11)，所述移动
夹持组件设置在滑槽(11)内；
所述移动夹持组件包括电动伸缩杆(7)、安装杆(8)、转轴(9)、安装块(10)、丝杆(17)、
夹持片(14)以及校准灯(15)，所述电动伸缩杆(7)固定设置在安装槽(2)内的相对两侧，所
述电动伸缩杆(7)的输出端分别与安装杆(8)的端部固定连接，所述安装杆(8)的顶部中心
位置固定设置有转轴(9)，所述转轴(9)位于滑槽(11)内，所述转轴(9)顶部固定设置有安装
块(10)，所述丝杆(17)活动设置在安装块(10)内，所述夹持片(14)套设在丝杆(17)的两端，
所述夹持片(14)的一侧开设有夹持槽(18)，每个所述夹持片(14)的相对两侧分别固定设置
有校准灯(15)。
2.根据权利要求1所述的一种双面套刻光刻机的对准装置，其特征在于：所述滑槽(11)
的相对两侧分别开设有滑轨(5)，所述滑轨(5)与放置部滑动配合。
3.根据权利要求2所述的一种双面套刻光刻机的对准装置，其特征在于：所述放置部包
括滑块(3)、支撑杆(12)以及放置台(4)，所述滑块(3)与滑轨(5)滑动配合，所述滑块(3)的
顶部固定设置有支撑杆(12)，所述支撑杆(12)的顶部固定设置有放置台(4)，所述放置台
(4)上开设有校准孔(6)，所述放置台(4)的一侧底部开设有放置槽(13)。
4.根据权利要求3所述的一种双面套刻光刻机的对准装置，其特征在于：所述放置部共
设置有两组，两组所述放置部分别位于滑槽(11)的两端。
5.根据权利要求3所述的一种双面套刻光刻机的对准装置，其特征在于：所述校准孔
(6)开设有两个，两个校准孔(6)等间距排列，且所述校准孔(6)与校准灯(15)相适配。
6.根据权利要求1所述的一种双面套刻光刻机的对准装置，其特征在于：所述安装块
(10)的一侧固定设置有伺服电机(16)，所述伺服电机(16)的输出端贯穿安装块(10)的一侧
与丝杆(17)固定连接。
7.根据权利要求1所述的一种双面套刻光刻机的对准装置，其特征在于：所述夹持片
(14)的截面以及夹持槽(18)的截面均为弧形设置。

2
CN218825147U说明书1/3页

一种双面套刻光刻机的对准装置

技术领域
[0001]本实用新型涉及光刻机对准装置技术领域，特别涉及一种双面套刻光刻机的对准
装置。

背景技术
[0002]光刻机(MaskAligner)，又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等，是制造微
机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。
[0003]其分为两种，一种是模板与图样大小一致的接触光刻机，曝光时模板紧贴晶圆；另
一种是利用短波长激光和类似投影机原理的步进式光刻机或扫描式光刻机，获得比模板更
小的曝光图样。
[0004]现有装置在对准时通常将物镜固定通过调整晶圆的位置从而实现双面光刻，但晶
圆在使用过程中调整空间有限，而现有物镜调整移动较为困难造成对准过程复杂，对准效
率低。
[0005]目前市场上，现有装置存在物镜与晶圆对准调整较为复杂的问题，为此，提出一种
双