CN2016206662452金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN205874569U
(45)授权公告日2017.01.11
(21)申请号201620666245.2
(22)申请日2016.06.30
(73)专利权人深圳市超晋达超声工程设备有限
公司
地址518110广东省深圳市龙华新区观澜
镇环观中路超晋达工业园一栋
(72)发明人胡文茂
(51)Int.Cl.
C25D15/00(2006.01)
C25D21/00(2006.01)
C25D17/00(2006.01)

权利要求书1页说明书2页附图1页
(54)实用新型名称
金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置
(57)摘要
本实用新型公开了一种金刚石电镀设备上
的移动式扫砂装置，该装置包括驱动机构、排线
器和位于工艺槽内的多根呈纵向分布的扫砂管；
每根扫砂管包括内管和套接在内管外的外管，多
个扫砂管延伸出工艺槽外的一端均与排线器固
定连接，且两者的位置呈垂直分布；驱动机构与
排线器驱动连接，驱动机构驱动后排线器进行旋
转，排线器旋转后带动扫砂管左右移动。本实用
新型中排线器在驱动机构的驱动下旋转时就会
带动扫砂管左右移动，从而实现金刚石磨料不沉
积在工艺槽槽底的目的。
CN205874569U
CN205874569U权利要求书1/1页

1.一种金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置，其特征在于，包括驱动机构、排线器和位
于工艺槽内的多根呈纵向分布的扫砂管；每根扫砂管包括内管和套接在内管外的外管，所
述多个扫砂管延伸出工艺槽外的一端均与排线器固定连接，且两者的位置呈垂直分布；所
述驱动机构与排线器驱动连接，所述驱动机构驱动后排线器进行旋转，所述排线器旋转后
带动扫砂管左右移动。
2.根据权利要求1所述的金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置，其特征在于，所述驱动
机构包括电机、电机链轮和传动链轮，所述电机与电机链轮驱动连接，且电机链轮与传动链
轮之间通过传动链条驱动连接，且所述传动链轮与排线器驱动连接。
3.根据权利要求1所述的金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置，其特征在于，总管固定
座固定在排线器的中部，总管通过连接座固定在总管固定座上，且总管固定座与总管垂直
分布；每根扫砂管的一端均固定在总管的纵向方向上。
4.根据权利要求3所述的金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置，其特征在于，所述每根
扫砂管的一端靠近总管的位置上均设置有控制球阀。
5.根据权利要求2所述的金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置，其特征在于，所述排线
器呈长条状且安装在排线器安装座上，所述电机安装在电机安装板上。

2
CN205874569U说明书1/2页

金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置

技术领域
[0001]本实用新型涉及电镀设备领域，尤其涉及一种金刚石电镀设备上的移动式扫砂装
置。

背景技术
[0002]随着半导体行业的发展，尤其是太阳能电池对大尺寸的需求越来越大，对硅片的
切割要求也越来越精密，对金刚石线锯的用量也越来越大。金刚石线锯在生产时，金刚石磨
料与电镀药水之间比例、均匀性的要求都非常高。生产工艺中，首先是把搅拌好的药水通过
砂浆泵送到生产线上的工艺槽内，在送到工艺槽内后，还需要对药水进行二次搅拌。传统的
搅拌是由搅拌电机带动搅拌叶来实现，这种较为传统的二次搅拌方法对设备安装空间要求
大，也影响到设备的美观性。

发明内容
[0003]针对上述技术中存在的不足之处，本实用新型提供一种金刚石电镀设备上的移动
式扫砂装置，扫砂管可进行左右移动，进而实现金刚石磨料不沉积在工艺槽槽底的目的。
[0004]为实现上述目的，本实用新型提供一种金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置，包
括驱动机构、排线器和位于工艺槽内的多根呈纵向分布的扫砂管；每根扫砂管包括内管和
套接在内管外的外管，所述多个扫砂管延伸出工艺槽外的一端均与排线器固定连接，且两
者的位置呈垂直分布；所述驱动机构与排线器驱动连接，所述驱动机构驱动后排线器进行
旋转，所述排线器旋转后带动扫砂管左右移动。
[0005]其中，所述驱动机构包括电机、电机链轮和传动链轮，所述电机与电机链轮驱动连
接，且电机链轮与传动链轮之间通过传动链条驱动连接，且所述传动链轮与排线器驱动连
接。
[0006]其中，总管固定座固定在排线器的中部，总管通过连接座固定在总管固定座上，且
总管固定座与总管垂直分布；每根扫砂管的一端均固定在总管的纵向方向上。
[0007]其中，所述每根扫砂管的一端靠近总管的位置上均设置有控制球阀。
[0008]其中，所述排线器呈长条状且安装在排线器安装座上，所述电机安装在电机安装
板上。
[0009]本实用新型的有益效果是：与现有技术相比，本实用新型提供的金刚石电镀设备
上的移动式扫砂装置，扫砂管采用外管套内管的