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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号CN205874569U (45)授权公告日2017.01.11 (21)申请号201620666245.2 (22)申请日2016.06.30 (73)专利权人深圳市超晋达超声工程设备有限 公司 地址518110广东省深圳市龙华新区观澜 镇环观中路超晋达工业园一栋 (72)发明人胡文茂 (51)Int.Cl. C25D15/00(2006.01) C25D21/00(2006.01) C25D17/00(2006.01) 权利要求书1页说明书2页附图1页 (54)实用新型名称 金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种金刚石电镀设备上 的移动式扫砂装置,该装置包括驱动机构、排线 器和位于工艺槽内的多根呈纵向分布的扫砂管; 每根扫砂管包括内管和套接在内管外的外管,多 个扫砂管延伸出工艺槽外的一端均与排线器固 定连接,且两者的位置呈垂直分布;驱动机构与 排线器驱动连接,驱动机构驱动后排线器进行旋 转,排线器旋转后带动扫砂管左右移动。本实用 新型中排线器在驱动机构的驱动下旋转时就会 带动扫砂管左右移动,从而实现金刚石磨料不沉 积在工艺槽槽底的目的。 CN205874569U CN205874569U权利要求书1/1页 1.一种金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置,其特征在于,包括驱动机构、排线器和位 于工艺槽内的多根呈纵向分布的扫砂管;每根扫砂管包括内管和套接在内管外的外管,所 述多个扫砂管延伸出工艺槽外的一端均与排线器固定连接,且两者的位置呈垂直分布;所 述驱动机构与排线器驱动连接,所述驱动机构驱动后排线器进行旋转,所述排线器旋转后 带动扫砂管左右移动。 2.根据权利要求1所述的金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置,其特征在于,所述驱动 机构包括电机、电机链轮和传动链轮,所述电机与电机链轮驱动连接,且电机链轮与传动链 轮之间通过传动链条驱动连接,且所述传动链轮与排线器驱动连接。 3.根据权利要求1所述的金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置,其特征在于,总管固定 座固定在排线器的中部,总管通过连接座固定在总管固定座上,且总管固定座与总管垂直 分布;每根扫砂管的一端均固定在总管的纵向方向上。 4.根据权利要求3所述的金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置,其特征在于,所述每根 扫砂管的一端靠近总管的位置上均设置有控制球阀。 5.根据权利要求2所述的金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置,其特征在于,所述排线 器呈长条状且安装在排线器安装座上,所述电机安装在电机安装板上。 2 CN205874569U说明书1/2页 金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置 技术领域 [0001]本实用新型涉及电镀设备领域,尤其涉及一种金刚石电镀设备上的移动式扫砂装 置。 背景技术 [0002]随着半导体行业的发展,尤其是太阳能电池对大尺寸的需求越来越大,对硅片的 切割要求也越来越精密,对金刚石线锯的用量也越来越大。金刚石线锯在生产时,金刚石磨 料与电镀药水之间比例、均匀性的要求都非常高。生产工艺中,首先是把搅拌好的药水通过 砂浆泵送到生产线上的工艺槽内,在送到工艺槽内后,还需要对药水进行二次搅拌。传统的 搅拌是由搅拌电机带动搅拌叶来实现,这种较为传统的二次搅拌方法对设备安装空间要求 大,也影响到设备的美观性。 发明内容 [0003]针对上述技术中存在的不足之处,本实用新型提供一种金刚石电镀设备上的移动 式扫砂装置,扫砂管可进行左右移动,进而实现金刚石磨料不沉积在工艺槽槽底的目的。 [0004]为实现上述目的,本实用新型提供一种金刚石电镀设备上的移动式扫砂装置,包 括驱动机构、排线器和位于工艺槽内的多根呈纵向分布的扫砂管;每根扫砂管包括内管和 套接在内管外的外管,所述多个扫砂管延伸出工艺槽外的一端均与排线器固定连接,且两 者的位置呈垂直分布;所述驱动机构与排线器驱动连接,所述驱动机构驱动后排线器进行 旋转,所述排线器旋转后带动扫砂管左右移动。 [0005]其中,所述驱动机构包括电机、电机链轮和传动链轮,所述电机与电机链轮驱动连 接,且电机链轮与传动链轮之间通过传动链条驱动连接,且所述传动链轮与排线器驱动连 接。 [0006]其中,总管固定座固定在排线器的中部,总管通过连接座固定在总管固定座上,且 总管固定座与总管垂直分布;每根扫砂管的一端均固定在总管的纵向方向上。 [0007]其中,所述每根扫砂管的一端靠近总管的位置上均设置有控制球阀。 [0008]其中,所述排线器呈长条状且安装在排线器安装座上,所述电机安装在电机安装 板上。 [0009]本实用新型的有益效果是:与现有技术相比,本实用新型提供的金刚石电镀设备 上的移动式扫砂装置,扫砂管采用外管套内管的
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