202110489366X一种晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN113211471A
(43)申请公布日2021.08.06
(21)申请号202110489366.X
(22)申请日2021.04.29
(71)申请人沈阳芯源微电子设备股份有限公司
地址110168辽宁省沈阳市浑南区飞云路
16号
(72)发明人吴天尧李舒驰
(74)专利代理机构沈阳科苑专利商标代理有限
公司21002
代理人何丽英
(51)Int.Cl.
B25J15/00(2006.01)

权利要求书2页说明书4页附图3页
(54)发明名称
一种晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构
(57)摘要
本发明属于电子半导体技术领域，特别涉及
一种晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构。包括外
壳、手指、推杆、直线驱动机构及位置检测机构，
其中手指的一端与外壳连接，另一端设有手指定
位块；直线驱动机构和位置检测机构设置于外壳
内，推杆的一端与直线驱动机构连接，另一端穿
出外壳且与推块连接；推块与手指定位块协同作
用夹持放置于手指上的晶圆；位置检测机构用于
检测推块是否到达夹持位置或初始位置。本发明
可根据晶圆自身的强度调节夹持机构的夹持力
度，同时调节夹持速度使夹持过程不对晶圆造成
损伤。
CN113211471A
CN113211471A权利要求书1/2页

1.一种晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构，其特征在于，包括外壳、手指(5)、推杆(7)、
直线驱动机构及位置检测机构，其中手指(5)的一端与外壳连接，另一端设有手指定位块
(6)；直线驱动机构和位置检测机构设置于外壳内，推杆(7)的一端与直线驱动机构连接，另
一端穿出外壳且与推块(4)连接；推块(4)与手指定位块(6)协同作用夹持放置于手指(5)上
的晶圆；所述位置检测机构用于检测推块(4)是否到达夹持位置或初始位置。
2.根据权利要求1所述的晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构，其特征在于，所述推杆
(7)位于所述手指(5)的下方；所述推块(4)和所述手指定位块(6)均为与晶圆外圆周相适应
的弧形结构；所述推块(4)的两端向上设有凸起部，两个凸起部位于所述手指(5)的两侧。
3.根据权利要求1所述的晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构，其特征在于，所述外壳包
括底座(1)及设置于底座(1)顶部的上盖(2)；
所述推杆(7)通过直线轴承结构与所述底座(1)连接；或通过花键轴结构与所述底座
(1)连接。
4.根据权利要求3所述的晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构，其特征在于，所述直线驱
动机构包括气缸(11)和中间滑动块(15)，其中气缸(11)设置于所述底座(1)内，且输出端通
过浮动接头(12)与中间滑动块(15)，所述中间滑动块(15)与所述推杆(7)连接。
5.根据权利要求4所述的晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构，其特征在于，所述中间滑
动块(15)两侧设有导向机构；所述导向机构包括导向轴(14)及连接在导向轴(14)两端的导
向轴座(13)；所述导向轴(14)与所述气缸(11)的输出方向平行，所述中间滑动块(15)与所
述导向轴(14)滑动连接。
6.根据权利要求4所述的晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构，其特征在于，所述位置检
测机构包括传感器A(23)、传感器B(24)、传感器固定座A(29)、传感器固定座B(30)及传感器
挡片(25)，其中传感器固定座A(29)和传感器固定座B(30)设置于所述底座(1)内，所述传感
器固定座A(29)和传感器固定座B(30)上均设有腰形孔，所述传感器A(23)和传感器B(24)通
过调整螺栓分别与所述传感器固定座A(29)和传感器固定座B(30)上的腰形孔连接；
所述传感器挡片(25)设置于所述中间滑动块(15)上；当所述传感器挡片(25)触发所述
传感器A(23)时，所述推块(4)位于夹持工位；当所述传感器挡片(25)触发所述传感器B(24)
时，所述推块(4)位于初始位置。
7.根据权利要求4所述的晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构，其特征在于，还包括安全
限位机构，所述安全限位机构包括限位块(18)和缓冲触头，所述限位块(18)设置于所述底
座(1)内，所述缓冲触头设置于所述中间滑动块(15)上；所述缓冲触头和所述限位块(18)配
合限制所述气缸(11)的最大伸出行程。
8.根据权利要求7所述的晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构，其特征在于，所述缓冲触
头包括限位挡片(16)和球头柱塞(17)，其中限位挡片(16)的一端与所述中间滑动块(15)连
接，另一端与球头柱塞(17)连接，所述球头柱塞(17)与所述限位块(18)相对应。
9.根据权利要求4所述的晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构，其特征在于，所述气缸
(11)的进气口A(26)和进气口B(27)与外部供气管