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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号CN112054090A (43)申请公布日2020.12.08 (21)申请号202010805992.0 (22)申请日2020.08.12 (71)申请人无锡琨圣智能装备股份有限公司 地址214000江苏省无锡市新吴区锡贤路 106号 (72)发明人邵玉林王军张三洋 (74)专利代理机构北京科亿知识产权代理事务 所(普通合伙)11350 代理人汤东凤 (51)Int.Cl. H01L31/18(2006.01) 权利要求书2页说明书5页附图2页 (54)发明名称 一种叠加TCO透明导电薄膜的高效双面 TOPCON电池工艺 (57)摘要 本发明涉及一种叠加TCO透明导电薄膜的高 效双面TOPCON电池工艺,包括以下步骤:S1.制 绒;S2.氧化;S3.正面掺磷非晶硅/背面掺硼非晶 硅;S4.退火;S5.双面沉积TCO/SiNx‑S6.丝网印 刷烧结。整个工艺无需在低温环境下进行,双面 性更好两面均能发电。在多晶硅层表面增加AZO 透明导电层,能够阻挡浆料烧穿多晶硅层,提升 电池片的效率、良率,使得太阳能电池的导电浆 料选择变得更加容易。对多晶硅层的导电性能要 求降低,可以降低多晶硅的掺杂浓度,提升少子 寿命,改善膜的质量和钝化效果,电池效率更高。 具有更高的兼容性,原有p型硅片产能可得到继 续利用,相比现有PERC、常规TOPCON技术,工序更 简单效率更高。 CN112054090A CN112054090A权利要求书1/2页 1.一种叠加TCO透明导电薄膜的高效双面TOPCON电池工艺,其特征在于,包括以下步 骤: S1.制绒; S2.氧化; S3.正面掺磷非晶硅/背面掺硼非晶硅; S4.退火; S5.双面沉积TCO/SiNx-S6.丝网印刷烧结。 2.根据权利要求1所述的叠加TCO透明导电薄膜的高效双面TOPCON电池工艺,其特征在 于,步骤S1中,硅片先后经过槽式单晶制绒机在78~84度的工艺温度,在3%-8%体积浓度的 KOH和0.01-2%体积浓度的制绒添加剂混合溶液中反应400-600S,通过碱和硅的各向异性反 应原理制备金字塔状陷光结构。 3.根据权利要求2所述的叠加TCO透明导电薄膜的高效双面TOPCON电池工艺,其特征在 于,步骤S2中,制绒后的硅片在90-100%浓硝酸溶液中,20-60度工艺温度下反应20~300S氧 化制备SiO2层,所述氧化硅层厚度在0.2-5nm范围内。 4.根据权利要求3所述的叠加TCO透明导电薄膜的高效双面TOPCON电池工艺,其特征在 于,步骤S3中,正反两面通过PECVD设备在氧化硅表面分别沉积掺杂磷和硼的多晶硅。 5.根据权利要求4所述的叠加TCO透明导电薄膜的高效双面TOPCON电池工艺,其特征在 于,所述PECVD基底在腔体真空度低于0.1pa时,对衬底进行升温,所述衬底沉积温度优选的 在400~800度范围内,衬底达到目标温度后通入混合反应气体包括PH3、B2H6、SiH4,所述气体 流量通过质量流量控制器进行控制,总的气体流量根据炉管体积进行相应调整。 6.根据权利要求5所述的叠加TCO透明导电薄膜的高效双面TOPCON电池工艺,其特征在 于,沉积气压控制在20-80pa,射频功率控制在100-200W,反应气体氢稀释比[PH3/SiH4]、 -4-2 [B2H6/SiH4]分别控制在10-10范围内,沉积时间2-60min,实现薄膜沉积厚度10-120nm。 7.根据权利要求6所述的叠加TCO透明导电薄膜的高效双面TOPCON电池工艺,其特征在 于,步骤S4中,退火工序在氮气氛围内550-850温度下退火10-60Min。 8.根据权利要求7所述的叠加TCO透明导电薄膜的高效双面TOPCON电池工艺,其特征在 于,TCO薄膜的沉积进一步的包括:特气DEZ/TMA/N2O/H20/N2/NH3/SiH4供应系统和射频电源, 温控系统控制炉管内温度在200-450℃范围内均匀且稳定;真空系统控制炉管内压力恒定, 范围在500-3000mtorr内调整;特气系统为工艺过程提供反应气体,气体流量可控;射频电 源提供高频微波,将反应气体等离子化,增强气体反应活性。 9.根据权利要求8所述的叠加TCO透明导电薄膜的高效双面TOPCON电池工艺,其特征在 于,所述的AZO膜生长可以使用PECVD方式或者ALD方式生长,PECVD方式的生长过程如下:按 比例通入DEZ/TMA/N2O(H2O)气体,其比例为1:100:200-1:30:20范围,经过射频电源将气体 离子化后沉积在硅片表面,控制反应压力在1000-3000mtorr,沉积时间为0.5-10min,沉积 温度20
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