2020116351959一种激光加工光路系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN112859394A
(43)申请公布日2021.05.28
(21)申请号202011635195.9
(22)申请日2020.12.31
(71)申请人苏州科韵激光科技有限公司
地址215100江苏省苏州市吴中区经济开
发区郭巷街道吴淞路818号富民三期
厂房1幢
(72)发明人董岱郎经纬
(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司
11332
代理人孟金喆
(51)Int.Cl.
G02F1/13(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图8页
(54)发明名称
一种激光加工光路系统
(57)摘要
本发明公开了一种激光加工光路系统，包括
激光发射模块、照明模块、图像采集模块、第一分
束模块和第二分束模块，激光发射模块用于出射
激光光束，照明模块用于出射照明光束，图像采
集模块用于采集样品的图像，当激光加工光路系
统处于第一工作状态时，第二分束模块位于照明
光束的传播路径之外，照明光束经第一分束模块
后照射到样品，照明光束经样品反射形成的反射
光束经第一分束模块后照射到图像采集模块，当
激光加工光路系统处于第二工作状态时，激光光
束经位于第二位置的第二分束模块后照射到样
品。本发明实施例提供的激光加工光路系统，保
证加工效果的同时，提高了到达到图像采集模块
的反射光束的光强度，从而提高成像质量。
CN112859394A
CN112859394A权利要求书1/2页

1.一种激光加工光路系统，其特征在于，包括：
激光发射模块、照明模块、图像采集模块、第一分束模块和第二分束模块；
所述激光发射模块用于出射激光光束，所述照明模块用于出射照明光束，所述图像采
集模块用于采集样品的图像；
所述第二分束模块可移动设置；
所述激光加工光路系统包括第一工作状态和第二工作状态；
当所述激光加工光路系统处于所述第一工作状态时，所述第二分束模块位于第一位
置，位于所述第一位置的所述第二分束模块处于所述照明光束的传播路径之外，所述照明
光束经所述第一分束模块后照射到所述样品，所述照明光束经所述样品反射形成反射光
束，所述反射光束经所述第一分束模块后照射到所述图像采集模块；
当所述激光加工光路系统处于所述第二工作状态时，所述第二分束模块位于第二位
置，所述激光光束经位于所述第二位置的所述第二分束模块后照射到所述样品。
2.根据权利要求1所述的激光加工光路系统，其特征在于，当所述激光加工光路系统处
于所述第二工作状态时，位于所述第二位置的所述第二分束模块处于所述照明光束的传播
路径上，所述照明光束依次经所述第一分束模块和所述第二分束模块后照射到所述样品，
所述反射光束依次经所述第二分束模块和所述第一分束模块后照射到所述图像采集模块。
3.根据权利要求1所述的激光加工光路系统，其特征在于，当所述激光加工光路系统处
于所述第二工作状态时，所述照明模块不出射照明光束。
4.根据权利要求1所述的激光加工光路系统，其特征在于，当所述激光加工光路系统处
于所述第一工作状态时，所述激光发射模块不出射激光光束。
5.根据权利要求1所述的激光加工光路系统，其特征在于，所述激光加工光路系统还包
括驱动模块，所述驱动模块与所述第二分束模块连接，所述驱动模块用于驱动所述第二分
束模块在所述第一位置和所述第二位置之间移动。
6.根据权利要求5所述的激光加工光路系统，其特征在于，所述驱动模块被配置为驱动
所述第二分束模块平移以使得所述第二分束模块在所述第一位置和所述第二位置之间移
动。
7.根据权利要求6所述的激光加工光路系统，其特征在于，所述第二分束模块的平移方
向垂直于所述照明光束的传播方向。
8.根据权利要求5所述的激光加工光路系统，其特征在于，所述驱动模块被配置为驱动
所述第二分束模块旋转以使得所述第二分束模块在所述第一位置和所述第二位置之间移
动。
9.根据权利要求5所述的激光加工光路系统，其特征在于，所述驱动模块包括气缸或电
机。
10.根据权利要求1所述的激光加工光路系统，其特征在于，所述激光加工光路系统还
包括第一光路调整模块和第二光路调整模块；
所述第一光路调整模块位于所述激光光束的传播路径上；所述第二光路调整模块位于
所述反射光束的传播路径上；
当所述激光加工光路系统处于所述第一工作状态时，所述反射光束依次经所述第一分
束模块和所述第二光路调整模块后照射到所述图像采集模块；

2
CN112859394A权利要求书2/2页
当所述激光加工光路系统处于所述第二工作状态时，所述激光光束依次经所述第一光
路调整模块和所述第二分束模块后照射到所述样品。
11.根据权利要求1所述的激光加工光路系统，其特征在于，所述激光加工光路系统还
包括聚焦模块；
当所述激光加工