2023106558364一种光电探测器激光损伤测试装置及方法.pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN116642580A
(43)申请公布日2023.08.25
(21)申请号202310655836.4
(22)申请日2023.06.05
(71)申请人西南科技大学
地址621010四川省绵阳市涪城区青龙大
道中段59号
(72)发明人蒋勇刘欣怡高有东伍萌
李麟徐曼王陈卓刘虎风
张发旺
(74)专利代理机构上海恒慧知识产权代理事务
所(特殊普通合伙)31317
专利代理师张宁展
(51)Int.Cl.
G01J1/02(2006.01)
G01J1/42(2006.01)
G01V13/00(2006.01)
权利要求书2页说明书4页附图1页
(54)发明名称
一种光电探测器激光损伤测试装置及方法
(57)摘要
一种光电探测器激光损伤的测试装置，包
括：激光器、二分之一波片、56度偏振片、45度分
光片、功率计、快门、高透高反镜、准直光源、扩束
系统、透镜、45度分光片、第一滤光衰减组件、光
束质量分析仪、反射镜、被测光电探测器放置的
样品控制台、第一光电探测器、第二滤光衰减组
件、第一分光镜、分光棱镜、光热探测器、位敏探
测器、成像系统、第二分光镜、探测光源、第三滤
光衰减组件、第二光电探测器、示波器和终端控
制系统；本发明使用时可以实现对光电探测器传
感/感光部位的无拆卸激光损伤测试，同时采用
融合了双光电探测器、光热探测器、位敏探测器
以及在线成像系统，优势互补，实现探测器损伤
信号的高精度检测与测量。
CN116642580A
CN116642580A权利要求书1/2页

1.一种光电探测器激光损伤的测试装置，其特征在于，包括：激光器(1)、二分之一波片
(2)、56度偏振片(3)、45度分光片(4)、功率计(5)、快门(6)、高透高反镜(7)、准直光源(8)、
扩束系统(9)、透镜(10)、45度分光片(11)、第一滤光衰减组件(12)、光束质量分析仪(13)、
反射镜(14)、供被测光电探测器(15)放置的样品控制台(16)、第一光电探测器(17)、第二滤
光衰减组件(18)、第一分光镜(19)、分光棱镜(20)、光热探测器(21)、位敏探测器(22)、成像
系统(23)、第二分光镜(24)、探测光源(25)、第三滤光衰减组件(26)、第二光电探测器(27)、
示波器(28)和终端控制系统(29)；
所述激光器(1)发出的激光光束依次经所述二分之一波片(2)、56度偏振片(3)、45度分
光片(4)、快门(6)、高透高反镜(7)、扩束系统(9)、透镜(10)和45度分光片(11)后分为二部
分，其中一部分经所述反射镜(14)反射后，辐照至被测光电探测器(15)的表面上，另一部分
经所述第一滤光衰减组件(12)后由所述光束质量分析仪(13)接收；
所述准直光源(8)依次经所述高透高反镜(7)、扩束系统(9)、透镜(10)，45度分光片
(11)和反射镜(14)后照射到被测光电探测器(15)的表面上；
所述探测光源(25)发出的探测光束经所述第二分光镜(24)后分为第一透射光束和第
一反射光束，所述第一透射光束斜入射至被测光电探测器(15)的表面上，经该测光电探测
器(15)反射后，经所述第一分光镜(19)分为第二透射光束和第二反射光束，所述第二反射
光束经所述第二滤光衰减组件(18)后，由所述第一光电探测器(17)接收，所述第二透射光
束经所述分光棱镜(20)后分为第三透射光束和第三反射光束，分别由所述光热探测器(21)
和位敏探测器(22)接收，所述第一反射光束经所述第三滤光衰减组件(26)后，由第二光电
探测器(27)接收；
所述激光器发出的激光光束、准直光源发出的准直光束和探测光源发出的探测光束聚
焦重合于所述被测光电探测器的待测处；
所述第一光电探测器(17)和第二光电探测器(27)分别连接示波器；
所述激光器(1)、功率计(5)、快门(6)、光束质量分析仪(13)、样品控制台(16)、光热探
测器(21)、位敏探测器(22)、成像系统(23)、探测光源(25)分别连接所述终端控制系统
(29)。
2.根据权利要求1所述的光电探测器激光损伤的测试装置，其特征在于，所述第二光电
探测器(27)和第一光电探测器(17)分别用于测量探测光源(25)照射被测光电探测器(15)
前后波形的变化情况。
3.根据权利要求1所述的光电探测器激光损伤的测试装置，其特征在于，所述光热探测
器(21)和位敏探测器(22)分别用于测量激光器(1)辐照被测光电探测器(15)前后的光热信
号和位置变化信息。
4.根据权利要求1所述的光电探测器激光损伤的测试装置，其特征在于，采用独立的探
测光源(24)照射被测光电探测器(15)，并以此耦合双光电探测器、光热探测