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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号CN111670398B (45)授权公告日2023.09.08 (21)申请号201980011167.9(73)专利权人莱卡微系统CMS有限责任公司 (22)申请日2019.01.29地址德国威茨勒 (65)同一申请的已公布的文献号(72)发明人西奥·拉瑞欧克里斯蒂安·舒曼 申请公布号CN111670398A(74)专利代理机构北京清亦华知识产权代理事 (43)申请公布日2020.09.15务所(普通合伙)11201 专利代理师宋融冰 (30)优先权数据 102018102241.72018.02.01DE(51)Int.Cl. G02B21/00(2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2020.07.31(56)对比文件 CN104541194A,2015.04.22 (86)PCT国际申请的申请数据WO2004053558A1,2004.06.24 PCT/EP2019/0520362019.01.29CN206115050U,2017.04.19 (87)PCT国际申请的公布数据审查员陈俊 WO2019/149666DE2019.08.08 权利要求书2页说明书9页附图8页 (54)发明名称 用于借助光片显微镜对样本成像的方法 (57)摘要 介绍一种用于借助光片显微镜(10)对样本 成像的方法。其中,利用两个光片(58、60)从两个 不同的照明方向对所述样本照明,这些光片具有 不同的偏振状态,并且在所述样本的目标区域 (E)中彼此共面地重叠。借助所述光片显微镜 (10)的成像光学机构(14)产生被照明的所述目 标区域(E)的图像。利用两个所述光片(58、60)在 被照明的所述目标区域(E)中产生干涉图案(I), 由此对所述目标区域(E)的图像施加与所述干涉 图案(I)相应的图像调制。分析所述图像调制。根 据所分析的所述图像调制,相对于所述成像光学 机构(14)的清晰区域(F)来调节被照明的所述目 标区域(E)。 CN111670398B CN111670398B权利要求书1/2页 1.一种用于借助光片显微镜(10)对样本成像的方法,其中, 利用两个光片(58、60)从两个不同的照明方向对所述样本照明,这些光片具有不同的 偏振状态,并且在所述样本的目标区域(E)中彼此共面地重叠;并且, 借助所述光片显微镜(10)的成像光学机构(14)产生被照明的所述目标区域(E)的图 像, 其中,利用两个所述光片(58、60)在被照明的所述目标区域(E)中产生干涉图案(I),由 此对所述目标区域(E)的图像施加与所述干涉图案(I)相应的图像调制, 其特征在于, 分析所述图像调制,并且, 根据所分析的所述图像调制,相对于所述成像光学机构(14)的清晰区域(F)来调节被 照明的所述目标区域(E), 其中,在相对于所述成像光学机构(14)的清晰区域(F)调节被照明的所述目标区域(E) 之前,使得两个所述光片(58、60)过渡至能干涉的偏振状态下,并且 在相对于所述成像光学机构(14)的清晰区域(F)调节被照明的所述目标区域(E)之后, 把两个所述光片(58、60)带到不能干涉的偏振状态下。 2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,分析所述图像调制,其方式为,确定该图像调 制的幅度,并且相对于所述成像光学机构(14)的清晰区域(F)调节被照明的所述目标区域 (E),使得所述幅度最大。 3.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于,规定所述干涉图案(I)的特征,并且借助 该规定的特征来分析所述图像调制,其中,所述特征由调制周期和干涉图案的方向产生。 4.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述干涉图案(I)以条纹图案的形式产 生,该条纹图案的干涉条纹平行于由两个所述光片(58、60)的照明方向相互夹成的角度的 角平分线伸展,其中,所述条纹图案按如下关系式以调制周期为特点:f=λsin(α/2),其中, f是调制周期,λ是所述光片的波长,α是所述角度。 5.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于,分析所述图像调制,其方式为,对所述图 像进行傅里叶‑分析。 6.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于,为了相对于所述成像光学机构(14)的清 晰区域(F)来调节被照明的所述目标区域(E),使得两个彼此共面地重叠的所述光片(58、 60)共同地沿着所述成像光学机构(14)的光轴(O')移动。 7.如权利要求1所述的方法,其特征在于,在相对于所述成像光学机构(14)的清晰区域 (F)调节被照明的所述目标区域(E)之前,使得两个所述光片(58、60)彼此非正交地线性地 偏振。 8.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于预先调节,在该预先调节中,根据所述图像 的亮度相对
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