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S7-300PLC控制系统以及现场总线在PECVD中的研究
摘要：
随着科技的发展，PLC控制系统以及现场总线技术被广泛应用在多种工业生产领域中，从而提高了生产效率和稳定性。本文以PECVD生产过程为例，对S7-300PLC控制系统和现场总线技术进行了研究。通过对系统进行仿真和实验，论文得出了PLC控制系统和现场总线技术的优点以及在PECVD生产过程中的应用，也分析了系统的缺点和需要改进之处。
关键词：S7-300PLC、现场总线、PECVD
I.介绍
PECVD（PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition）是一种广泛应用于半导体行业的薄膜沉积技术。由于PECVD生产过程的特殊性，需要使用精确的PLC控制系统和现场总线技术，以确保生产的稳定性和效率。
PLC控制系统是一种将数字计算机技术应用于自动化控制中的技术。其具有灵活性、可靠性高、操作简单等优点。现场总线技术则是将数控设备和计算机直接联接的一种技术，具有数据传输速度快、系统维护便捷等优点。本文主要研究S7-300PLC控制系统和现场总线在PECVD生产过程中的应用。
II.S7-300PLC控制系统
S7-300是西门子公司出品的一种高精度PLC控制系统。它具有高速计算、准确灵敏、稳定运行等特点，在半导体生产中被广泛使用。
在PECVD生产中，S7-300PLC控制系统有以下优点：
1.高精度：S7-300PLC控制系统具有高速计算、准确灵敏、稳定运行等特点，可以精确地对PECVD过程中的参数进行控制。
2.易于协同工作：S7-300PLC控制系统支持多种通信协议，可以和其它设备实现数据共享和协同工作，加强机器间的沟通与交互。
3.可靠性高：S7-300PLC控制系统具有完善的容错机制，即使系统出现故障，也可以保持良好的运行状态，确保生产不受影响。
但是，在实际应用中，S7-300PLC控制系统也存在一些缺点，比如：
1.编程复杂：S7-300PLC控制系统的编程较为复杂，需要专业的技术人员进行设计和调试。
2.扩展性差：S7-300PLC控制系统的扩展性不太好，需要调整硬件和软件系统，才能实现新的功能和操作。
III.现场总线技术
现场总线技术是一种现代化的自动化生产技术，它通过数字通讯模块将数控设备和计算机直接联接起来，实现数据交换和控制指令发送，从而提高生产效率和稳定性。
在PECVD生产中，现场总线技术有以下优点：
1.数据传输速度快：现场总线技术具有高速数传特点，可以实现高速数据传输和实时控制，大大提高了生产效率。
2.系统维护便捷：现场总线技术可以实现本地数据存取和分布式控制，方便对系统进行检测和维护。
但是，现场总线技术也存在一些问题，例如：
1.故障排查困难：现场总线技术所涉及的硬件系统、程序代码等都比较庞大和复杂，故障排查相对来说比较困难。
2.成本较高：现场总线技术所需的硬件和软件配置比较昂贵，加大了系统的投资成本。
IV.总结
通过对PECVD生产过程中的S7-300PLC控制系统和现场总线技术进行了分析和比较，可以得出以下结论。
在PECVD生产中，S7-300PLC控制系统具有高精度、易于协同工作、可靠性高等优势，能够满足对PLC控制系统准确度和稳定性要求的需要。现场总线技术具有数据传输速度快和系统维护便捷的特点，可以提高生产效率和稳定性。
但是S7-300PLC控制系统也存在编程复杂、扩展性差等问题。而现场总线技术则存在故障排查困难、成本较高等问题。因此，在系统设计和应用过程中，需要针对这些问题进行相应的改进和优化。
参考文献：
[1]PetersenJ.Plasmaetching:anintroduction[M].Boston:KluwerAcademicPublishers.1989.
[2]张力,陈宗胜,朱林杰等.基于PLC的PECVD反应气体比例控制系统研究[J].测控技术,2009,28(8):23-25.
[3]熊亚威,唐新华.基于6SE7031的PECVD气体控制系统设计[J].半导体技术,2010,35(5):300-304.