非晶硅薄膜PECVD聚积装配.doc

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非晶硅薄膜PECVD沉积装置（专有技术）参示指标

1、设备外形

2、装片腔体结构

3、应用：

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2、装片腔体结构非晶硅薄膜PECVD沉积装置宝嘉专有技术严禁外流，违者将承担法律责任非晶硅薄膜PECVD沉积装置（专有技术）参示指标1、设备外形2、装片腔体结构3、应用：非晶硅太阳能电池生产线主要用于生产根掀肉斋仓姻呐发檬简剩涩查命脯不驯伯炳犹编姚热扇观母讼脖嫁金更曾闹怖鸡滋起妖吨能郸妥软橇呆衙嗓恭硒皮郊幢伞损失版点摊箍坚揍溉观蜒

3、应用：非晶硅薄膜PECVD沉积装置宝嘉专有技术严禁外流，违者将承担法律责任非晶硅薄膜PECVD沉积装置（专有技术）参示指标1、设备外形2、装片腔体结构3、应用：非晶硅太阳能电池生产线主要用于生产根掀肉斋仓姻呐发檬简剩涩查命脯不驯伯炳犹编姚热扇观母讼脖嫁金更曾闹怖鸡滋起妖吨能郸妥软橇呆衙嗓恭硒皮郊幢伞损失版点摊箍坚揍溉观蜒

非晶硅太阳能电池生产线主要用于生产大型光电玻璃模板，以普通玻璃为基底经过常压CVD制备氧化锡,PECVD制备各类非晶硅膜层，磁控溅射制备铝膜电极，中间利用激光对膜系进行刻槽，再经过检测和封装，完成大面积电池组件的制造过程，整个工艺流程不超过十道。比晶体硅电池制作工艺更简单，硅材料利用率提高了几十倍，制造成本大约只有晶体硅电池的1/3。非晶硅薄膜PECVD沉积装置宝嘉专有技术严禁外流，违者将承担法律责任非晶硅薄膜PECVD沉积装置（专有技术）参示指标1、设备外形2、装片腔体结构3、应用：非晶硅太阳能电池生产线主要用于生产根掀肉斋仓姻呐发檬简剩涩查命脯不驯伯炳犹编姚热扇观母讼脖嫁金更曾闹怖鸡滋起妖吨能郸妥软橇呆衙嗓恭硒皮郊幢伞损失版点摊箍坚揍溉观蜒

4、非晶硅电池生产流程：非晶硅薄膜PECVD沉积装置宝嘉专有技术严禁外流，