发明授权-201710624077X-处理液生成装置和使用该处理液生成装置的基板处理装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN107665839B
(45)授权公告日2021.08.10
(21)申请号201710624077.X(51)Int.Cl.
(22)申请日2017.07.27H01L21/67(2006.01)
(65)同一申请的已公布的文献号(56)对比文件
申请公布号CN107665839AJP2003170034A,2003.06.17
KR20080011910A,2008.02.11
(43)申请公布日2018.02.06
审查员周辉辉
(30)优先权数据

2016-1508322016.07.29JP
2017-1242152017.06.26JP
(73)专利权人芝浦机械电子装置股份有限公司
地址日本神奈川县
(72)发明人林航之介宫崎邦浩
(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限
公司11127
代理人黄纶伟刘畅
权利要求书3页说明书14页附图8页
(54)发明名称
处理液生成装置和使用该处理液生成装置
的基板处理装置
(57)摘要
本发明提供处理液生成装置和使用该处理
液生成装置的基板处理装置，能够提高所生成的
处理液的浓度的可靠性。该处理液生成装置生成
进行了浓度调整的处理液，具有：处理液调整部，
其对所述处理液的浓度进行调整；第一处理液
路，其使处理液流入处理液调整部；第二处理液
路，其使处理液流入处理液调整部；第一浓度计，
其对作为流过第一处理液路的所述处理液的浓
度的、处理液调整部的浓度调整所涉及的成分的
浓度进行测定；第二浓度计，其对作为流过第二
处理液路的所述处理液的浓度的、应由第一浓度
计进行浓度测定的所述浓度调整所涉及的成分
的浓度进行测定；第一阀机构，其进行第一处理
液路的开闭；以及第二阀机构，其进行第二处理
液路的开闭。
CN107665839B
CN107665839B权利要求书1/3页

1.一种处理液生成装置，其生成根据浓度计的测定浓度进行了浓度调整的处理液，其
中，
该处理液生成装置具有：
处理液调整部，其对所述处理液的浓度进行调整；
第一处理液路，其使处理液流入所述处理液调整部；
第二处理液路，其使与流过所述第一处理液路的处理液相同浓度的处理液流入所述处
理液调整部；
第一浓度计，其设置于所述第一处理液路，对作为流过所述第一处理液路的所述处理
液的浓度的、所述处理液调整部的浓度调整所涉及的成分的浓度进行测定；
第二浓度计，其设置于所述第二处理液路，对作为流过所述第二处理液路的所述处理
液的浓度的、应由所述第一浓度计进行浓度测定的所述处理液调整部的浓度调整所涉及的
成分的浓度进行测定；
第一阀机构，其进行所述第一处理液路的开闭；以及
第二阀机构，其进行所述第二处理液路的开闭，
所述第一浓度计和所述第二浓度计利用分别不同的测定原理对所述处理液的浓度进
行测定，以使得在同样的环境下使用的所述第一浓度计和所述第二浓度计同时发生故障的
可能性变低。
2.根据权利要求1所述的处理液生成装置，其中，
所述第一处理液路包含第一循环液路，该第一循环液路使所述处理液从所述处理液调
整部通过所述第一浓度计而返回到该处理液调整部，
所述第二处理液路包含第二循环液路，该第二循环液路使所述处理液从所述处理液调
整部通过所述第二浓度计而返回到该处理液调整部。
3.根据权利要求1所述的处理液生成装置，其中，
该处理液生成装置具有：
第一校正液路，其使浓度已知的校正液流入所述第一浓度计；
第二校正液路，其使浓度已知的校正液流入所述第二浓度计；
第三阀机构，其对所述第一校正液路进行开闭；以及
第四阀机构，其对所述第二校正液路进行开闭。
4.根据权利要求1所述的处理液生成装置，其中，
该处理液生成装置具有处理液用阀控制部，该处理液用阀控制部根据从所述第一浓度
计获得的第一测定浓度和从所述第二浓度计获得的第二测定浓度对所述第一阀机构和所
述第二阀机构的动作进行控制。
5.根据权利要求4所述的处理液生成装置，其中，
所述处理液用阀控制部具有：
第一判定部，其根据所述第一测定浓度和所述第二测定浓度中的至少第一测定浓度对
所述第一浓度计是否正常进行判定；以及
第一阀控制部，当由该第一判定部判定为所述第一浓度计不正常时，所述第一阀控制
部对所述第一阀机构进行控制，以使得所述第一处理液路处于关闭状态。
6.根据权利要求4或5所述的处理液生成装置，其中，

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CN107665839B权利要求书2/3页
所述处理液用阀控制部具有：
第二判定部，其根据所述第一测定浓度和所述第二测定浓度中的至少第二测定浓度对
所述第二浓度计是否正常进行判定；以及
第二阀控制部，当由该第二判定部判定为所述第二浓度计不正常时，所述第二阀控制
部对所述第二阀机构进行控制，以使得